Endistriyèl Kathodic Arc Evaporation Thin Film System enjenyè pou gwo -depozisyon nan kouch metalik, alyaj, ak seramik konpoze dans, fòtman aderan. Opere atravè yon vòltaj ki ba -, gwo - kouran arc dechaj sou objektif katod solid, sistèm nan vaporize materyèl dirèkteman nan yon eta plasma trè ionize (40% - 80% rapò metal ion). Sa a kondui iyon enèjik nan koòdone nan substra, pwodwi adezyon kouch siperyè konpare ak estanda evaporasyon tèmik oswa metòd konvansyonèl sputtering.
Konstwi pou anviwònman pwodiksyon ak sant rechèch materyèl avanse, sistèm nan depoze di, mete -kouch tribolojik ki reziste-tankou TiN, TiAlN, CrN, ak AlCrN-sou zouti koupe, fòme mwazi, ak konpozan mekanik presizyon. Chanm vakyòm modilè a akomode konfigirasyon milti-katòd évolutive ak wotasyon planétè otomatik 3-aks pou asire repetibilite pakèt-a pakèt.
Espesifikasyon teknik
|
Paramèt teknik |
Espesifikasyon Range / Valè |
|
Presyon vakyòm ultim |
<= 5.0 x 10^-4 Pa (achieved via turbomolecular and rotary/dry backing pump combination) |
|
Chanm Dimansyon |
Dyamèt enteryè Customized (Modèl endistriyèl estanda: dia. 600 mm nan dia. 1200 mm) |
|
Materyèl chanm |
Double-miray SUS304 Nerjaveèi ak dlo entèn helicoïdal-chanèl refwadisman |
|
Arc Power Supplies |
DC Dèlko Arc: 10A - 200Yon reglabl; Opsyon enpulsyon arc ki disponib |
|
Pouvwa patipri substrate |
-100V - -1000V ekipman pou pouvwa reglabl enpulsyonèl patipri (10kHz - 100kHz) |
|
Sous Katod |
2 - 6 estasyon katòd mayetik-interchangeable (dia. 85 mm oswa dia. 100 mm) |
|
Wotasyon Substra |
Kondwi wotasyon planetè 3-aks ak kontwòl vitès varyab (0 - 10 rpm) |
|
Total Pouvwa Konekte |
45kVA - 120kVA (depann sou volim chanm ak konte sous) |
|
Kondisyon pou dlo refwadisman |
Pousantaj koule: 15 - 40 m^3/h; Presyon: 0.2 - 0.3 MPa; Tanperati: 18 - 25 degre C |
Karakteristik kle
Teknoloji katòd volan-mayetik:Bouk fèmen-jaden mayetik bale plas katod la atravè sifas sib la, ogmante pousantaj itilizasyon sib la pi wo pase 55% ak siprime krater sib lokalize.
Segondè Iyonizasyon PlasmGenerates rapò iyon metal jiska 80%, bay gwo enèji sinetik pou kwasans fim dans ak fon metaliji difizyon nan koòdone nan substra.
Depo milti-kouch pwogramasyon:Endistriyèl PLC konbine avèk yon achitekti kontwòl HMI egzekite sekans otomatik nan gaz reyaktif (N2, O2, C2H2) pou gradyan fonksyonèl ak achitekti nan kouch nan kouch.
Gravure Plasma nan-situ:Entegre bonbadman ion metal ak etap netwayaj magnetron dezekilib anvan depo pou retire oksid natif natal ak kontaminan sifas yo.
Konfigirasyon sistèm vakyòm
Sou-sistèm vakyòm lan fèt pou sik ponp-desann rapid ak presyon operasyonèl ki estab anba antre gaz reyaktif kontinyèl:
Etap degrasaj ak rasin:Ponp rotary-direkte oswa ponp vis sèk ki asosye ak yon soufle Roots, evakye chanm lan soti nan presyon atmosferik rive nan 10 Pa nan 5 minit.
Etap vakyòm segondè:Ponp turbomolekilè levitasyon mayetik ki bay gwo vitès ponpe volumetrik pou vapè dlo ak gaz rezidyèl, sekirize sib presyon baz anba a 5.0 x 10^-4 Pa.
Valv ak mezi:Tiyo pòtay pòtay ak tiyo ang elektwo-pneumatik entegre ak tout -gamme Pirani/Penning kalib konbinezon pou verrouillage sekirite otomatik yo.
Règleman presyon:Femen -bouk-kapasite manomèt fidbak ki konekte ak gwo-kontwolè mas koule (MFC) ak presizyon pou estabilize presyon pasyèl gaz reyaktif pandan depo reyaktif.
Materyèl evaporasyon ak konpatibilite substrate
Materyèl sib
Metal pi bon kalite:Ti, Cr, Al, Zr, Cu, Mo, W, Nb.
Sib alyaj:TiAl (50/50, 33/67), TiSi, CrAl.
Kabòn:Objektif grafit pou depo ibrid dyaman-tankou kabòn (DLC).
Konpatibilite Substra
Hardmetal / Carbide simante:WC-Koupe foure, moulen fen, ak zouti fòm.
Gwo-Acier Vitès (HSS):Tap, tòde egzèsis, ak broch.
Jeni Steels:Nerjaveèi, alyaj Titàn, ak segondè -tanperati nikèl-superalliaj ki baze sou.
Seramik estriktirèl:Alumina ak konpozan nitrure Silisyòm ki mande modifikasyon tribolojik.
Aplikasyon
Koupe ak machin zouti:Depozisyon TiAlN ak AlCrN kouch sou foure carbure pou ogmante rezistans oksidasyon jiska 900 °C ak pwolonje lavi zouti pandan gwo vitès -koupe sèk.
Konpozan otomobil:Kouch difisil nan bag piston, lifters valv, ak broch piki gaz pou diminye koyefisyan friksyon fwontyè ki anba a 0.1 epi anpeche ras.
Mwazi ak mouri:Aplikasyon nan fim CrN ak TiCN sou mwazi piki plastik ak metal Stamping mouri pou anpeche mete adezif ak grip materyèl.
Materyèl Aerospace:Pwoteksyon ewozyon -kouvwi ki reziste sou fixation presizyon ak konpozan COMPRESSOR k ap opere nan anviwònman korozivite.
Opsyon personnalisation
Jeyometri chanm:Konsepsyon pòt-chajman vètikal-oswa devan orizontal-chajman ki adapte pou achte-dispozisyon etaj yo.
Entegrasyon sous ibrid:Konfigirasyon doub-teknoloji ki konbine evaporateur ak katodik ak katod sputtering magnetron dezekilib (UBMS) oswa zam iyon lineyè.
Nivo Otomatik:Opsyon entegrasyon faktori ki gen ladan bra chaj otomatik otomatik oswa aliye miray patisyon sal pwòp.
Elektwonik pouvwa:Dèlko patipri enpulsyonèl Customized ki optimize pou izolasyon substrats oswa materyèl debaz tanperati -sansib.
Kontwòl Kalite & Tès Faktori
Deteksyon koule:Elyòm mas spectrometer fuites tès fèt sou tout chanm vakyòm ak kouti soude, kenbe pousantaj total koule anba a 1.0 x 10 ^ -9 Pa * m ^ 3 / s.
Odit sekirite elektrik:Rezistans izolasyon ak tès kontinwite baz konfòme ak estanda CE ak sekirite elektrik.
Fonksyonèl kouri sèk:72 èdtan kontinyèl tès sik sèk otomatik nan kondui wotasyon mekanik, sekans valv, ak refwadisman dlo koule.
Verifikasyon Pwosesis (FAT):Depozisyon opsyonèl nan kouch referans TiN sou koupon tès kliyan -bay verifye inifòmite epesè fim, nano-dite, ak fòs adezyon grafouyen anvan yo kase.
Enstalasyon ak sipò teknik
Gid Preparasyon Sit:Dokimantasyon detaye jeni etablisman ki kouvri limit chaj etaj, kanalizasyon tiyo echapman, espesifikasyon dlo frèt, ak gout elektrik yo bay 4 semèn anvan livrezon.
Sou-Komisyonin sou sit:Enjenyè sèvis jaden sipèvize pozisyon mekanik, branche sèvis piblik, sele vakyòm, ak entegrasyon elektrik.
Fòmasyon Pwosesis:Men-fòmasyon operatè ki kouvri antretyen chanm, pwotokòl ranplasman sib, depanaj vakyòm, ak jesyon resèt.
Diagnostik Remote:Sekirize pòtay VPN endistriyèl ki entegre nan kabinè kontwòl la pou mizajou lojisyèl aleka, analiz anrejistreman paramèt, ak dyagnostik fay.
FAQ
K: Ki jan sistèm nan kontwole jenerasyon macroparticules (goutte) nannan evaporasyon arc katodik?
A: Sistèm nan enkòpore direksyon jaden mayetik rapidman bale plas katod la atravè sifas sib la, diminye fòmasyon macroparticules. Pou aplikasyon ki mande ultra-sifas lis (Ra < 0.05 um), kanal filtre makropartikul (filtre arc katodik) oswa konfigirasyon ibrid magnetron sputtering ka entegre.
K: Ki pousantaj itilizasyon tipik sib la, e kijan sib yo ranplase?
A: Sèvi ak teknoloji mayetik-direksyon, itilizasyon sib varye ant 50% ak 60%. Katod yo fèt ak mekanis rapid-klanp, ki pèmèt yon operatè ki resevwa fòmasyon ranpli ranplasman sib ak netwayaj katod nan 30 minit pou chak estasyon.
K: Èske sistèm nan ka kouri otomatik milti-kouch oswa pwosesis kouch gradyan?
A: Yes. The industrial PLC and HMI system store up to 100 recipe profiles. It automatically regulates gas mass flow controllers, arc current ramps, and bias voltage pulsing to deposit complex architectural layers (e.g., bonding layer -> gradient layer ->fonksyonèl nano-miltikouch) san entèvansyon operatè.
K: Ki kondisyon sèvis piblik yo genyen pou yon sistèm estanda dia. 900 mm?
A: Yon estanda dia{0}} inite mm mande pou yon 3-faz 380V/480V (50/60Hz) ekipman pou pouvwa ak yon chaj pik apeprè 75kVA, yon bouk fèmen-bouk rezèv dlo frèt (25 m ^ 3 / h nan 0.25 MPa), ak yon pwòp, ekipman pou lè konprese MPa pwòp, sèk.
Baj popilè: arc evaporasyon sistèm fim mens, Lachin arc evaporasyon sistèm fim mens manifaktirè, Swèd, faktori
