Apèsi sou pwodwi a
Ekipman fim mens konpoze PVD la se yon platfòm depo vakyòm endistriyèl ki fèt pou depoze fim mens milti-kouch, alyaj ak nanokonpoze. Entegre magnetron sputtering ak sous arc katodik nan yon sèl chanm vakyòm, sistèm nan pèmèt kontwòl egzak sou mikrostruktur fim, estrès rezidyèl, ak adezyon entèfas. Bati pou pwodiksyon kontinyèl ak R&D avanse, platfòm la akomode substrats metalik, seramik, ak polymère ak jeyometri chanm évolutive.
-
Ekipman depo vakyòm konpoze PVDPlatfòm depo vakyòm PVD endistriyèl sa a entegre plizyè teknik depo nan yon sèl anviwònman chanm pou depoze fim mens inifòm, milti-kouch metalik, alyaj, oswa dyelèktrik. Achitekti estanda akomode...wè plis
-
PVD Hybrid sistèm depo fim mensPVD Hybrid Thin Film Deposition System entegre evaporasyon tèmik, evaporasyon elèktron (e{0}}gwo bout bwa) ak RF/DC magnetron sputtering nan yon sèl achitekti vakyòm. Platfòm sa a pèmèt sekans...wè plis
-
PVD milti-pwosesis ekipman fim mensEkipman Fim Mens PVD Multi-Pwosesis la se yon platfòm depozisyon vakyòm entegre ki fèt pou konbine plizyè teknik fabwikasyon fim mens-—ki gen ladan RF/DC Magnetron Sputtering, evaporasyon tèmik,...wè plis
-
Ekipman depo konpoze PVDEkipman Depo Endistriyèl PVD Konpozitè fèt pou plizyè-konpozan, milti-kouch, ak nano-konpoze fim mens-. Sistèm nan entegre evaporasyon tèmik, e-evaporasyon gwo bout bwa, ak sous magnetron...wè plis
-
PVD konpoze sistèm fim mensEndistriyèl -sistèm kouch vakyòm ki entegre magnetron sputtering (RF/DC/HiPIMS) ak evaporasyon katodik arc. Ki fèt pou kontinyèl, milti-kouch, alyaj, ak nano-konpoze fim mens- depo nan echèl...wè plis
-
Ekipman PVD konpoze fim mensEkipman fim mens konpoze PVD la se yon platfòm vakyòm endistriyèl ki fèt pou fè sentèz milti-kouch, alyaj, ak fim mens gradye. Bati sou yon achitekti modilè 304L/316L asye pur, li entegre jiska...wè plis
Espesifikasyon teknik
|
Paramèt |
Gamme spesifikasyon |
|
Presyon vakyòm ultim |
<= 5.0 x 10^-5 Pa (Cryogenic/Turbomolecular pumping suite) |
|
Travay presyon |
0.1 Pa - 5.0 Pa |
|
Tanperati substrate |
Anbyen a 800 degre (Fèmen-bouk PID kontwole) |
|
Sous depo |
Configurable: DC/RF Magnetron Sputtering, Pulsasyon DC, Filtre Kathodik Arc |
|
Inifòmite epesè |
< +/- 3% across standard 300 mm substrate carrier |
|
Materyèl Chanm |
304L/316L Nerjaveèi, tè mekanik ak elektwo-poli (Ra<= 0.4 um) |
|
Entegrasyon ekipman pou pouvwa |
Dèlko MF (10-100 kHz), dèlko RF (13.56 MHz), enpulsyon DC patipri |
|
Sistèm kontwòl |
Endistriyèl PLC + IPC ak ekzekisyon resèt otomatik, siveyans bloke, ak anrejistreman done pakèt |
Pwosesis depo konpoze
Sistèm nan itilize yon achitekti ibrid fizik depo vapè ki konbine magnetron sputtering ak teknoloji arc katodik.
Sinèji milti-sous:
Operasyon similtane oswa sekans nan katod miltip pèmèt pou tranzisyon konpozisyon brid sou kou oswa gradye atravè pil fim nan.
Ion Etching Pre-Netwayaj:
Etap netwayaj RF oswa DC plasma yo retire oksid natif natal ak kontaminan sifas yo anvan depoze pou maksimize kouch-pou-adhesion substrate.
Kontwòl depo reyaktif:
Bouk fèmen -spèktroskopi emisyon optik (OES) kontwole piki gaz reyaktif (O2, N2, C2H2) pou kenbe estekyometri konpoze ki estab epi anpeche anpwazònman sib.
Patipri substrate:
Pwovizyon kouran enpulsyonèl senkronize bonbade fim nan k ap grandi ak iyon gwo -enèji, densifye mikrostruktur la ak adapte estrès konpresiv rezidyèl.
Materyèl fim
Ekipman an sipòte yon laj spectre de materyèl sib pou kondisyon fonksyonèl pwepare:

Tranzisyon metal nitrur ak karbid:
TiN, TiAlN, CrN, ZrN, TiCN pou mete ak rezistans korozyon.

Nanokonpoze ak sistèm miltikouch:
TiSiN, AlTiSiN, metal/seramik nanouch pou dite ekstrèm ak estabilite tèmik segondè -tanperati.

Transparan oksid kondiktif (TCO):
ITO, AZO, IGZO pou aplikasyon optoelectronic ak fotovoltaik.

Pi metal ak alyaj:
Ti, Cr, Al, Cu, Nerjaveèi, NiCr pou kontak elektrik ak kouch baryè difizyon.
Aplikasyon
Zouti pou koupe presizyon:
Depozisyon super-difisil, ba-kouvwi friksyon (egzanp, TiAlN) sou foure carbure, perçage, ak fen-moulen pou pwolonje lavi fonksyonèl anba gwo chaj tèmik.
Konpozan otomobil:
Friksyon-rediksyon ak usure-fim ki reziste sou bag piston, pati piki gaz, ak asanblaj angrenaj.
Optoelektwonik ak ekspozisyon:
Ba -rezistivite, segondè-transmisyon kouch oksid konduktif pou panno manyen ak substrats selil solè.
Aparèy medikal:
Biyokonpatib ak mete -kouvwi sou enstriman chirijikal ak enplantasyon òtopedik.
Personnalisation & Konfigirasyon sistèm
Konfigirasyon jeni yo adapte ak kontrent espesifik etablisman pwodiksyon ak resèt pwosesis:
Dimansyon chanm:
Opsyon chanm silendrik oswa rektangilè ki soti nan sistèm pakèt R&D (500 mm dyamèt) ak gwo -chaj pwodiksyon echèl- sistèm fèmen (1000 mm +).
01
Seleksyon ponp ponpe:
Matching rasin souflè, ponp turbomolekilè, ak ponp kriyojenik ki baze sou tan ponp-desann yo ak pwofil chaj gaz yo.
02
Fixation substrate:
Etap wotasyon planetè Customized, wotasyon satelit 3-aks, oswa woule-modil woule ki fèt pou jeyometri 3D konplèks oswa rezo kontinyèl.
03
Nivo Otomatik:
Semi-konfigirasyon chaj manyèl otomatik oswa sistèm transfè vakyòm konplètman otomatize ak manyen substrate robotik.
04
Faktori & Kontwòl Kalite
Deteksyon koule:
Chak chanm vakyòm sibi tès espektwomèt mas elyòm nan yon papòt <1 x 10^-10 Pa * m^3 / s.
Enspeksyon soude:
Vacuum-soude bò yo se TIG soude, tè, ak poli, ki te swiv pa X-ray oswa enspeksyon penetrant lank sou demann.
Konfòmite elektrik ak sekirite:
Panno kontwòl yo bati an akò ak estanda NFPA 79 oswa CE/IEC, ki gen enkonekte pyès ki nan konpitè pou koule dlo, presyon gaz, ak sekirite elektrik.
Tès Akseptasyon faktori (FAT):
Egzamen anvan -ekspedisyon yo gen ladann 72-èdtan kontinyèl sech-kout sikilasyon, verifikasyon pèfòmans vakyòm, ak tès depoze kouch lè l sèvi avèk resèt kliyan yo espesifye.
Gid Preparasyon Sit:Dokiman konplè sou kondisyon etablisman yo bay detaye koòdone sèvis piblik (koule dlo refwadisman / presyon, chaj elektrik, lè konprese, tiyo echapman).
Sou-Komisyonin sou sit:Enjenyè sèvis tèren yo egzekite aliyman mekanik, tcheke koule vakyòm, koneksyon elektrik -, ak premye kalibrasyon.
Akorasyon resèt pwosesis:Kolaborasyon sou plas-ak kliyan métallurgiques ak enjenyè pwosesis pou bloke epesè fim sib, estrès, ak paramèt dite.
Sipò pou sik lavi:Koòdone dyagnostik adistans, envantè pyès rezèv lokalize, ak pwogram antretyen prevantif pwograme.

FAQ
Nou byen -koni kòm youn nan dirijan pvd konpoze manifaktirè ekipman fim mens ak founisè nan Lachin. Si w ap ale nan achte Customized pvd konpoze ekipman fim mens te fè nan peyi Lachin, akeyi yo ka resevwa lis pri nan faktori nou an. Pou konsiltasyon pri, kontakte nou.
