Apèsi sou pwodwi a
Ekipman fim mens evaporasyon elèktron sa a fèt pou gwo -presizyon fizik vapè depozisyon (PVD). Sèvi ak yon gwo-enèji elèktron konsantre pou bonbade materyèl sous, sistèm nan reyalize gwo pousantaj evaporasyon pou metal segondè-fonn-pwen metal, oksid, ak materyèl dyelèktrik.
Bati sou yon achitekti vakyòm modilè, sistèm nan akomode plizyè-zam elèktron pòch, aparèy substra personalizable, ak avanse siveyans nan-situ. Li sèvi laboratwa R&D ak gwo -liy pwodiksyon ki mande kontwòl strik sou estekiometri fim, adezyon, ak pèfòmans optik.
-
![Segondè Vacuum Electron Beam Evaporasyon Ekipman]()
Segondè Vacuum Electron Beam Evaporasyon EkipmanSistèm evaporasyon gwo vakyòm elèktron seri EBE-seri a depoze fim mens ki gen gwo-pite pou aplikasyon optik, semi-kondiktè ak metaliji. Lè yo dirije yon gwo bout bwa elèktron mayetik konsantre sou...wè plis -
![Elektwon gwo bout bwa sistèm depo fim mens]()
Elektwon gwo bout bwa sistèm depo fim mensSistèm depozisyon fim mens Electron Beam la bay pwosesis PVD direksyon, ki wo -pite pou rechèch avanse ak pwodiksyon endistriyèl. Sèvi ak yon gwo bout bwa elèktron ki konsantre epi dirije mayetik...wè plis -
![Elektwon Beam Vacuum Evaporasyon Ekipman]()
Elektwon Beam Vacuum Evaporasyon EkipmanSistèm evaporasyon Vacuum Beam Elektwon sa a egzekite depozisyon fizik vapè (PVD) metal ki gen gwo pwen k ap fonn, oksid, ak dielektrik. Lè yo dirije yon gwo reyon elèktron konsantre nan yon fwaye...wè plis -
![Elektwon Beam Evaporasyon sistèm fim mens]()
Elektwon Beam Evaporasyon sistèm fim mensSistèm evaporasyon EBE-Electron Beam Seri a fèt pou depozisyon fizik vapè (PVD) metal-pwen fonn-, dielektrik, ak materyèl optik. Lè w itilize yon gwo reyon elèktron konsantre mayetik ki detounen...wè plis -
![Elektwon Beam Evaporasyon mens Ekipman fim]()
Elektwon Beam Evaporasyon mens Ekipman fimSeri EBE-V600 se yon platfòm endistriyèl-depo fizik vapè (PVD) echèl ki fèt pou kouch fim egzak mens-konpozan optik, aparèy semi-conducteurs, ak materyèl avanse. Lè yo dirije yon gwo-enèji,...wè plis
Espesifikasyon teknik
|
Paramèt |
Gamme spesifikasyon |
Nòt / Creole Konfigirasyon |
|
Presyon baz ultim |
< 5.0 × 10^-6 Pa |
Reyalize atravè gwoup ponpe kriyojenik oswa turbo-molekilè |
|
Chanm Dimansyon |
Customized (500 mm a 1200 mm dyamèt entèn) |
304L / 316L Nerjaveèi, elektwo-poli |
|
E-Evalyasyon Pouvwa Zam |
6 kW a 15 kW (Dèlko milti-poch bale) |
Devyasyon gwo bout bwa ki ka pwograme ak endèks milti-creze |
|
Pousantaj depo |
0.1 nm/s a 10 nm/s |
-An tan reyèl fèmen-kontwòl bouk atravè monitè kristal kwats |
|
Inifòmite epesè fim |
< ±1% to ±2% across standard substrates |
Planèt oswa bòl substra aparèy ak wotasyon vitès varyab |
|
Tanperati substrate |
Anbyen a 800 degre |
Entegre chofaj radyan ak fidbak tèmik PID |
Karakteristik Ekipman kle
Gwo -estabilite zam elèktron:
Karakteristik defleksyon mayetik ak plizyè -pwen konsantre pou anpeche surchof lokal materyèl sous yo epi elimine krache pandan evaporasyon reyaktif.
Modilè Crucible konsepsyon:
Ekipe ak 4 a 6 -poch foyers indexable, ki pèmèt depozisyon plizyè wèbsayt] san kraze vakyòm.
Avanse Vacuum Interlock:
PLC-kontwole tiyo pneumatik, sekans otomatik degrosaj/segondè-vakyòm, ak verrouillage pwoteje kont echèk dlo refwadisman ak anomali kouran.
Ba-Chanm Kontaminasyon:
Pwoteksyon entèn yo itilize asye pur elektwo-poli ak revètman detachable pou rediksyon patikil rapid ak antretyen.
Materyèl fim ak substrats
Materyèl evaporasyon konpatib
Metal: Au, Ag, Al, Ti, Cr, Ni, Pt, Cu, Mo, W
Dielectrics & oksid: SiO2, TiO2, Al2O3, Ta2O5, HfO2, ITO
Kalite Substra
Silisyòm wafers (2 pous a 12 pous)
Vè optik, silica fusion, ak substrats kwatz
Fim polymère fleksib (poliimid, PET atravè modil woulo{0}}a-woulo)
Substra seramik (Al2O3, AlN)
Aplikasyon
Kouch optik:
Kouch anti-reflektif (AR), filtè-band etwat, ak miwa ki gen gwo-reflektif pou sistèm lazè ak fotonik.
Aparèy Semiconductor:
Fòmasyon kontak ohmik, metalizasyon pòtay, ak pwosesis lift-pou mikwo-elektwonik.
Optoelektwonik:
Kouch transparan oksid konduktif (TCO) ak fim mens pou ekspozisyon OLED ak selil fotovoltaik.
Avanse R&D:
Eksplorasyon kouch mens-fim mayetik, fim superconducteurs, ak etewostrikti milti-kouch.
Personnalisation & Konfigirasyon sistèm
Chak sistèm fim mens -konfiguré pou koresponn ak resèt pwosesis espesifik ak layout etablisman yo. Adaptasyon jeni ki disponib yo enkli:
Seleksyon pile ponpe:
Turbo-ponp molekilè (TMP), kriyoponp, oswa konfigirasyon difizyon lwil oliv- ki adapte ak kondisyon baz vakyòm ak debi.
Chaje-Bloke Entegrasyon:
Chajman manyèl-fèmen oswa otomatize sistèm gwoup milti-chanm pou kenbe entegrite ultra-wo vakyòm ak ogmante debi wafer.
-Metroloji nan plas:
Pò entegrasyon pou elipsomèt espektroskopik, monitè optik, oswa analizè gaz rezidyèl (RGA).
Lojisyèl kontwòl:
Pwopriyetè PLC/HMI koòdone ak depo resèt, anrejistreman done, ak pwotokòl kominikasyon SECS/GEM pou entegrasyon faktori entelijan.
Faktori & Kontwòl Kalite
Fabrikasyon veso:
Tout chanm vakyòm yo sibi tès espektwomèt mas elyòm ak yon papòt rejè <1 × 10^-9 Pa·m³/s.
Entegrite soude:
TIG soude fèt anba pwoteksyon gaz inaktif, ki te swiv pa pasivasyon sifas entèn ak polisaj mekanik pou diminye degassaj.
Tès Akseptasyon faktori (FAT):
72-èdtan kontinyèl seche-tès ki mezire koub ponpe, presizyon bale e-zam, tan repons interlock, ak estabilite tèmik anvan kas.
Konfòmite ak estanda:
Manifaktire anba yon sistèm jesyon kalite ISO 9001 sètifye, ak sistèm enjenyè pou satisfè direktiv CE ak direktiv sekirite ak ergonomic SEMI (S2/S8) ki enpòtan.
FAQ
Nou se byen -li te ye kòm youn nan dirijan evaporasyon elèktron gwo bout bwa manifaktirè ekipman fim mens ak founisè nan Lachin. Si w ap ale nan achte Customized elèktron gwo evaporasyon ekipman fim mens te fè nan peyi Lachin, akeyi yo ka resevwa list pri nan faktori nou an. Pou konsiltasyon pri, kontakte nou.
