Sistèm depozisyon fim mens Electron Beam la bay pwosesis PVD direksyon, ki wo -pite pou rechèch avanse ak pwodiksyon endistriyèl. Sèvi ak yon gwo bout bwa elèktron ki konsantre epi dirije mayetik ki dirije sou materyèl sous andedan yon kreze kòb kwiv mete dlo-refwadi, sistèm nan reyalize evaporasyon tèmik metal refractory, oksid, ak konpoze dyelèktrik san kontaminasyon kreze.

Konsepsyon pou entegrasyon sal pwòp, achitekti a konbine chanm vakyòm modilè, zam milti{-poch E-, ak otomatik pwosesis bouk fèmen-pou gouvène epesè fim, estekiometri, ak précision entèfas.

Espesifikasyon teknik

Paramèt	Espesifikasyon Range / Detay
Presyon baz ultim	< 5 x 10^-7 Torr (Cryogenic or turbomolecular configurations)
Ponpe-Tan Desann	< 15 minutes to 1 x 10^-5 Torr (Clean, dry, empty chamber)
E-Pwisans Zam Travès	3 kW a 10 kW (kontwolè milti-poch bale ak bale oto-)
Konfigirasyon Crucible	4 a 6 pòch; 7 cc a 40 cc kapasite pou chak pòch
Detantè Substra	Wotasyon -pèmèt, dlo/chofaj-kontwole etap ki sipòte jiska 200 mm wafer oswa substrats plat koutim
Inifòmite epesè fim	< +/- 1% across a 100 mm deposition area (Optimized via planetary fixture or source-to-substrate distance)
Kontwòl Pousantaj Depo	0.01 nm/s rive 10 nm/s reglemante atravè doub -chanèl Quartz Crystal Microbalance (QCM)
Materyèl chanm	304L Nerjaveèi, electropolished (Ra < 0.25 um), segondè -vakyòm soude entèn

Karakteristik kle

Devyasyon mayetik 270 degre:Pliye trajectoire elèktron pou pwoteje filaman emèt la kont flux vapè dirèk, pwolonje lavi fonksyonèl ak estabilize aktyèl emisyon an.

Kontwòl Bale dijital:Modèl travès pwogramasyon elimine tinèl kreze lokalize epi kenbe konsomasyon materyèl inifòm nan plizyè fwaye pòch{0}.

Règleman QCM bouk fèmen-:Doub -Fedbak Capteur ajiste dinamik pwodiksyon ekipman pou estabilize pousantaj depo ak siprime alyaj stoichiometry drift.

Achitekti PLC Interlock:Siveyans tan reyèl -nan koule dlo refwadisman, segondè-izolasyon vòltaj, sele pòt yo, ak presyon foreline pou pwoteje operatè yo ak entegrite vakyòm.

Pò depo oksilyè:Pwen aksè bride sipòte entegrasyon segondè, ki gen ladan bato tèmik, iyon -depo asistans (IAD) zam ion kadriye, ak katod magnetron sputtering.

Konfigirasyon sistèm vakyòm

Etap degrasaj:Lwil-ponp woulo liv gratis ki asosye ak yon souflè rasin reyalize vibwasyon-izole grossaj desann nan 10^-2 Torr, elimine backstreaming idrokarbone.

Etap segondè-Vakyòm:Ponp turbomolekilè (1200 L / s a 2200 L / s) te sipòte pa yon pèlen kriyojenik, soutni presyon pwosesis operasyonèl ant 10 ^ -6 ak 10 ^ -4 Torr.

Konstriksyon Chanm:Doub -O- bag sele, 304L asye pur ki soulaje estrès- ak sifas enteryè electropolished pou minimize degazaj ak retansyon imidite.

Materyèl fim ak substrats

Materyèl depo konpatib
Metal refractory:Titàn (Ti), Kwòm (Cr), Tantal (Ta), Molybdène (Mo), Tengstèn (W), Platin (Pt), Gold (Au).

Dielektrik ak oksid:Silisyòm dyosid (SiO2), Titàn dyosid (TiO2), Tantal pentoksid (Ta2O5), oksid aliminyòm (Al2O3), Hafnium dyosid (HfO2).

Substrats konpatib
Semiconductor wafers (Si, GaAs, InP, 2-pous 8-pous).

Vid optik vè, kwatz, silica fusion, ak fenèt safi.

Foil metal fleksib ak substrats seramik (Al2O3).

Aplikasyon

Semiconductor fabrikasyon:Depozisyon kontak pòtay metal, kouch baryè, ak leve-fè pil metalizasyon pou rechèch mikwoelektwonik ak liy pilòt.

Optik presizyon:Filtè entèferans optik milti{-kouch, kouch anti-reflektif (AR), miwa lazè ki gen gwo-refleksyon, ak divizyon beamsplitters.

Optoelektwonik:Elektwòd kondiktif transparan ak kouch fim mens-pou ekspozisyon OLED, fotodetektè, ak selil solè.

Materyèl avanse:Kwasans alyaj mayetik, précurseur supèkondiktè, ak kouch pwoteksyon ki reziste -.

Opsyon personnalisation

Dimansyon chanm:Echèl volim vètikal oswa orizontal pou anfòm ekipman endistriyèl ki pa-estanda oswa gwo-panno zòn.

Ko-Enstalasyon evaporasyon:Entegrasyon plizyè zam E-gwo bout bwa ak selil efizyon tèmik pou sentèz alyaj konplèks.

Chaje-Bloke Entegrasyon:Bras transfè lineyè manyèl oswa otomatik pou kenbe entegrite vakyòm segondè-pandan gwo-chajman wafer debi.

Entegrasyon lojisyèl:SCADA pwotokòl koutim sipòte koreksyon resèt, anrejistreman odit, ak estanda automatisation faktori SECS/GEM.

Kontwòl Kalite

Deteksyon Fuit Elyòm:Tès espektromèt mas asire ke pousantaj koule soude chanm rete anba a 1 x 10 ^ -9 atm * cm3 / sec.

Verifikasyon elektrik:Tès izolasyon wo -vòltaj, chèk kontinite tè, ak validation repons interlock pa kòd sekirite endistriyèl.

Tès Akseptasyon faktori (FAT):72-èdtan anrejistreman burn-in operasyon kontinyèl koub vakyòm final, estabilite emisyon zam, ak egzekisyon resèt otomatik anvan chajman.

Enstalasyon ak sipò teknik

Pre-Gid Enstalasyon:Dokimantasyon detaye ki kouvri bouk fèmen -bouk dlo frèt, vantilasyon echapman, kondisyon chaj elektrik (380V/480V 3-faz), ak chaj etaj chanm pwòp.

Komisyonin jaden:Sou -pozisyon mekanik sou plas, koneksyon liy vakyòm-, branchement elektrik, ak kalibrasyon debaz egzekite pa enjenyè sèvis faktori.

Fòmasyon operasyonèl:Men-enstriksyon ki kouvri ranplasman filaman, rechaje creuze, kalibrasyon QCM, ak depanaj PLC woutin.

FAQ

K: Ki tan estanda ponp-desann soti nan atmosfè a nan presyon opere?

A: Avèk yon chanm pwòp, sèk ak estanda turbomolekilè konfigirasyon, sistèm lan rive nan yon presyon baz operasyonèl nan 5 x 10 ^ -6 Torr nan mwens pase 15 minit.

K: Èske sistèm nan ka konfigirasyon pou ko-depozisyon?

A: Wi. Konfigirasyon milti-zam oswa konfigirasyon E-gwo ak sous tèmik yo pèmèt similtane ko-evaporasyon ak kontwolè pousantaj endepandan.

K: Ki sèvis piblik yo mande?

A: Sèvis piblik obligatwa yo gen ladan dlo frèt -bouk fèmen (~20 °C, 0.3 MPa), lè konprese (0.6 MPa) pou tiyo pneumatik, liy purge N2, ak dedye 3-faz pouvwa elektrik matche ak ekipman pou pouvwa chwazi a (3 kW a 10 kW).

K: Ki jan yo anpeche kwa-kontaminasyon ant diferan materyèl sous?

A: Fwaye milti-poch la itilize yon asanblaj kòb kwiv mete refwadi dlo-ak wotasyon pòch ki ka endeksab, materyèl izole fizikman ak tèmik, siplemantè ak pwoteksyon koutim pou sispann kwa-flux.

Baj popilè: elèktron gwo bout bwa mens fim depo sistèm, Lachin elèktron gwo bout bwa mens fim depo sistèm manifaktirè, Swèd, faktori