Lachin Ion -Asiste evaporasyon mens fim ekipman manifaktirè founisè faktori

Apèsi sou pwodwi a

Ekipman Fim Mens ak Evaporasyon Asistans IAE-Seri Ion- entegre depozisyon fizik vapè (PVD) ak bonbadman iyon tan reyèl-. Lè yo dirije iyon enèjik sou substra a pandan evaporasyon tèmik oswa elektwon -, sistèm nan transfere momantòm nan adatom kondansasyon yo, restriktire mikrostrikti fim nan k ap grandi.

Transfè enèji sinetik sa a elimine vid kolòn, siprime absòpsyon imidite, ak fèmen endèks refraktif la kont chanjman imidite anbyen. Konstwi pou operasyon kontinyèl milti-chanjman nan liy pwodiksyon optik ak semi-conducteurs, platfòm la okipe substrats ki soti nan optik lazè segondè-presizyon ak silisyòm wafers.

Ion-Ekipman Evaporasyon Vakyòm Asistans
Sistèm Evaporasyon Vakyòm Ion-Assisted Vacuum Evaporation System entegre gwo-vakyòm tèmik oswa sous evaporasyon elèktron-ak yon sous evaporasyon kalite Kaufman-oswa End-Hall. Lè yo bonbade fim nan...
wè plis
Ion-Sistèm Depozisyon Fim Mens Asistans
Ion-Assisted Thin Film Deposition System la entegre plizyè-poch elèktron-travès/evaporasyon tèmik ak yon gwo-pèfòmans End-Hall oswa Kaufman-sous iyon kalite. Pandan depozisyon fizik vapè (PVD),...
wè plis
Ekipman evaporasyon Ion Beam ede
Sistèm IBAE la konbine gwo-elektron oswa evaporasyon tèmik ak yon sous iyon gwo-fois entegre. Bonbadman iyon similtane pandan kwasans fim transfere enèji sinetik nan kondansasyon adatom, elimine...
wè plis
Ion-Ekipman depo fim mens ede
Ekipman pou depoze fim mens IA-Seri Ion-Assisted Thin Film Deposition Equipment entegre evaporasyon tèmik elèktron-beam ak yon sous iyon Kaufman oswa End-Hall. Bonbadman iyon enèjik (agon / melanj...
wè plis
Ion-sistèm fim mens pou evaporasyon asistans
Sistèm Fim Mens Ion-Evaporasyon Asistans (IAE) entegre depozisyon fizik vapè (PVD) ak bonbadman enèjik iyon. Pandan evaporasyon tèmik oswa elektwon-gwo bout bwa, yon sous iyon oksilyè Kaufman oswa...
wè plis
Ion-Ekipman Fim Mens Evaporasyon Asistans
Sistèm endistriyèl-Ion-Evaporasyon Asistans (IAE) ki entegre plizyè-poch elèktron-evaporasyon gwo bout bwa ak yon sous iyon enèjik (End-Hall oswa konfigirasyon Kaufman). Bonbadman iyon tan...
wè plis

Espesifikasyon teknik

Paramèt	Spesifikasyon
Presyon baz ultim	< 5.0 × 10⁻⁵ Pa (achieved within 45 mins via cryogenic/turbomolecular pumping)
Sous evaporasyon	Plizyè -poch E- zam gwo bout bwa (4 × 15cc a 40cc) ak sous tèmik rezistan
Kalite Ion Sous	Gridless End-Hall / Kaufman-type sous ion (vòltaj gwo bout bwa: 50 – 1500 V, aktyèl ion: 0.1 – 3 A)
Kontwòl epesè fim	Quartz crystal microbalance (QCM) + sistèm siveyans optik (OMS), presizyon ± 0.1 nm
Substrate Fixturing	Planèt wotasyon aparèy, reyon bòl Customized nan jeyometri substra
Chofaj Substra	Etalaj chofaj radyan, jiska 350 degre ak inifòmite PID ± 2 degre
Kontwòl Achitekti	PLC + Endistriyèl PC, otomatik resèt ekzekisyon, SECS/GEM konfòm done antre

Ion-Asiste Pwosesis Depo

Jenerasyon vapè:

Yo evapore materyèl ki soti nan kreze e-gwo bout bwa a oswa bato tèmik nan pousantaj depozisyon kontwole (0.1 – 2.0 nm/s).

Transfè momantòm:

Iyon enèjik (Ar⁺, O⁺) bonbade sifas substra a ansanm ak koule vapè ki soti nan gwo bout bwa E-oswa sous tèmik la.

Mikwostrikti modifikasyon:

Enpak Iyon amelyore mobilite sifas adatom, anpeche kwasans grenn kolòn ak reyalize tou pre -dansite esansyèl (dansite anbalaj > 99%).

Koreksyon estekiometri:

Asistans ion reyaktif (O₂) asire oksidasyon konplè sub{0}}oksid nan fim oksid metal (egzanp, Ta₂O₅, Nb₂O₅, SiO₂), elimine bann absòpsyon nan spectre UV-NIR.

Materyèl fim

oksid:

SiO₂, Ta₂O₅, TiO₂, Nb₂O₅, HfO₂ (Segondè estabilite endèks refraktif pou filtè optik).

Fliyò:

MgF₂, LaF₃ (Kouch endèks refraktif ba pou kouch AR bande).

Metal:

Al, Ag, Au, Ti (kouch Adhesion ak reflektè metalik).

Aplikasyon

Lazè ak optik presizyon:

Filtè Bandpass, miwa dikroik, ak kouch pwoteksyon lazè ki egzije gwo papòt domaj lazè -induced domaj (LIDT) ak zewo chanjman espèk anba estrès tèmik.

LiDAR Cover Glass:

Fim mens dirab anti-reflektif (AR) ak anti-sale ki reziste kont move tan an deyò.

Anbalaj Semiconductor:

Imidite -kouch enkapsulasyon baryè ak kousinen kontak metal depoze nan tanperati ki ba substra.

Detèktè byomedikal:

Kouch entèferans optik biokonpatib pou chips mikrofluidik dyagnostik.

Personnalisation

Chanm ak layouts entèn yo fèt pou anprent fabrikasyon espesifik ak kondisyon pwosesis:

01.

Dimansyon chanm:

Évolutive soti nan R=600 mm R&D inite yo rive nan R=1200 mm gwo-sistèm pwodiksyon kapasite.

02.

Pakè ponpe:

Configurable ak ponp turbomolekilè Maglev, cryopumps, ak liy sipò soufle Roots ki baze sou kondisyon chaj gaz.

03.

Entegrasyon sous:

Konfigirasyon sous doub-ion oswa konfigirasyon ko-depozisyon pou alyaj konplèks ak fim gradyan milti-kouch.

04.

Nivo Otomatik:

Entegrasyon ak sistèm transfè substra sal pwòp (EFEM / Vacuum cluster tools).

Kontwòl Kalite

Deteksyon koule:

Chak chanm vakyòm yo teste fuit elyòm-l sèvi ak yon espektwomèt mas (pousantaj koule < 1.0 × 10⁻¹⁰ Pa·m³/s).

Trasabilite eleman:

Tiyo vakyòm, kontwolè mas koule (MFCs), ak ekipman pou pouvwa ki soti nan mak endistriyèl kalifye Tier-1 (MKS, Inficon, VAT).

Tès Akseptasyon faktori (FAT):

Kouri -tès pou verifye presyon baz, koub ponpe, estabilite sous, ak andirans kontinyèl chanm vid 24-èdtan anvan chajman.

Validasyon Metroloji:

Egzanp kouri verifye atravè espektrofotomètr (transmisyon / refleksyon) ak mikwoskòp fòs atomik (brutalizasyon sifas Ra <0.5 nm).

Enstalasyon ak sipò teknik

Gid Preparasyon Sit:

Kondisyon konplè pou sèvis piblik yo bay anvan livrezon (koule/presyon dlo refwadisman, chanm pwòp lè konprese, distribisyon kouran, vantilasyon echapman).

Komisyonin kle en:

Enjenyè sèvis tèren yo okipe asanblaj mekanik, kwit vakyòm-deyò, kalibrasyon reyon iyon, ak premye siy resèt pwosesis-sou-sou sit.

Fòmasyon Operatè:

Men estriktire -sou fòmasyon ki kouvri antretyen woutin, sekirite vakyòm, operasyon lojisyèl, ak depanaj.

Sipò pou sik lavi:

Koòdone dyagnostik adistans pou depanaj lojisyèl rapid; stock rejyonal nan atik kritik mete (filaman, kreze, plak pwotèj) voye nan 48 èdtan.

FAQ

K: Ki jan asistans ion anpeche chanjman espèk nan filtè optik?

A: Konvansyonèl evaporasyon tèmik kite vid mikwoskopik nan fim nan, ki absòbe imidite anbyen, chanje epesè fizik la ak endèks refraktif. Iyon bonbadman ogmante dansite anbalaj fim pi wo pase 99%, sele mikrostruktur la kont pénétration imidite ak bloke paramèt optik ki estab atravè anviwònman imidite varyab.

K: Ki entèval antretyen tipik pou kadriyaj sous iyon an?

A: Tou depan de gaz pwosesis (Ar vs. O₂ reyaktif) ak pouvwa opere, antretyen griy obligatwa chak 150 a 300 èdtan pwosesis. Gridless End-Desen Sal yo pwolonje fennèt fonksyonèl yo anpil lè yo elimine griy fizik ki sijè a usure sputtering.

K: Èske ekipman sa a ka entegre ak automatisation faktori ki egziste deja?

A: Wi. Lojisyèl kontwòl la sipòte pwotokòl SECS/GEM ak OPC UA, ki pèmèt koneksyon dirèk ak Sistèm Egzekisyon Faktori (MES) pou jesyon resèt ak swiv anpil.

Nou byen konnen -kòm youn nan dirijan iyon-evaporasyon evaporasyon manifaktirè ekipman fim mens ak founisè nan Lachin. Si w ap achte yon seri iyon -asistans evaporasyon ekipman fim mens ki fèt nan peyi Lachin, akeyi yo jwenn lis pri nan faktori nou an. Pou konsiltasyon pri, kontakte nou.