Deskripsyon ekipman:
· Entwodiksyon ekipman:
Plasma amelyore ekipman fim mens se yon teknoloji pi bon kalite kouch ion (gwo bout bwa pi bon kalite), teknoloji netwayaj gwo -enèji ion gwo (Ionbeam), teknoloji Magnetron Sputter (Sputter) ak depozisyon vapè mayetik (konfinasyon mayetik -CVD) se kat teknoloji nan youn, ki se yon fizyon pafè nan teknoloji PVD.
Plasma amelyore ekipman fim mens bay yon konbinezon pwosesis pi fleksib pou satisfè yon varyete bezwen pwodwi konplèks, ak pwosesis ibrid pwisan li yo bay plis posiblite pou konsèpteur pwosesis.
Plasma amelyore ekipman fim mens entwodiksyon kout nan fonksyon ekipman yo:
(1) Sous kouch ion pi bon kalite, lè l sèvi avèk sistèm filtraj elektwomayetik efikas, efektivman retire patikil, jwenn pi wo gwo bout bwa ion pite, ede amelyore dite kouch la ak fòs obligatwa;
(2) Sous netwayaj gwo enèji iyon gwo, lè l sèvi avèk yon estrikti egzeyat ki fèt espesyalman, efektivman konpatib ak aktivasyon netwayaj plasma, ionizasyon oksilyè, depo endepandan ak lòt fonksyon;
(3) Sous sputtering mayetron, lè l sèvi avèk konsepsyon inovatè jaden mayetik, efektivman amelyore to itilizasyon sib la nan plis pase 30%;
(4) Sous depozisyon vapè mayetikman fèmen, serye ak fasil pou kenbe estrikti, ka reyalize depo kouch rapid ak amann.
Kalite kouch tipik:
(1) Me-TAC, metal TAC konpoze kouch, lajman itilize
(2) Me-DLC, metal DLC konpoze kouch, lajman itilize
(3) Me-TAC-DLC, TAC-DLC penti konpoze, pandan y ap jwenn pi wo dite debaz ak fòs obligatwa nan TAC, gen pousantaj depo ak bon aparans nan DLC.
· Avantaj ekipman:
Eksprime Plasma amelyore ekipman fim mens ka reyalize konbinezon an nan TAC -DLC, ki anpil amelyore fòs la obligatwa konpare ak CVD a senp, pandan y ap diminye gwosè a patikil nan PVD ak diminye tan an pwosesis.
eksprime Plasma amelyore ekipman fim mens ka reyalize yon varyete de pwosesis C fim depozisyon, pi bon kalite ion plating TAC, mayetik dechaj DLC, anod kouch ion sous plating DLC, elatriye.
Eksprime Plasma amelyore ekipman fim mens ekipe ak yon aparèy optik elektwomayetik ak lojisyèl, ki ka kontwole direksyon gwo bout bwa nan plasma a nan yon pwen fiks ak tan, anpil amelyore pwoblèm nan nan inifòmite kouch, ak inifòmite nan kouch fim nan gwo founo antye kontwole anba a ± 5%; eksprime Optimize konsepsyon jaden mayetik ak konsepsyon refwadisman, antretyen fasil, bon estabilite ekipman;
eksprime zanmitay man-koòdone machin, reyèl-anrejistreman done pwosesis, fezab nan kontwòl kalite, analiz difisil, devlopman nan nouvo pwosesis;
eksprime Pwojè sa a se yon ekipman en, konpayi Pure Source bay yon solisyon konplè, ki gen ladan fòmil kouch ki estab ki gen matirite.
Jaden aplikasyon:
Inivèsite eksprime ak enstiti rechèch, manifakti konsomabl endistriyèl, endistri elektwonik konsomatè, elatriye;
eksprime Konpozan motè kle pou otomobil ak machin dyezèl;
eksprime Pati kle nan endistri twal la;
eksprime zouti pou koupe -wo fen ak endistri ekipman medikal;

Kalite kouch:
|
Kalite kouch |
Ranje tanperati depozisyon |
Mikwo dite (HV) |
Kouch obligatwa pouvwa (N) |
Tanperati maksimòm sèvis (degre) |
Epesè (μm) |
|
Super-difisil ta-C |
<150℃ |
4000-5500 |
Pi gran pase oswa egal a 35N |
600 degre (anba N2pwoteksyon) |
1-2 |
|
Nòmal ta-C |
<150℃ |
2000-4500 |
Pi gran pase oswa egal a 35N |
350 degre |
2-4 |
|
Epè ta-C |
<150℃ |
1800-2200 |
Pi gran pase oswa egal a 35N |
350 degre |
5.5-8 |
|
Ultra-Epè ta-C |
<150℃ |
1800-2200 |
Pi gran pase oswa egal a 35N |
350 degre |
20-28 |
|
DLC |
<120℃ |
1700-2500 |
Pi gran pase oswa egal a 30N |
250 degre |
2-20 |
Baj popilè: Plasma amelyore ekipman fim mens, Lachin Plasma ranfòse manifaktirè ekipman fim mens, Swèd, faktori
