Seri EBE-V600 se yon platfòm endistriyèl-depo fizik vapè (PVD) echèl ki fèt pou kouch fim egzak mens-konpozan optik, aparèy semi-conducteurs, ak materyèl avanse. Lè yo dirije yon gwo-enèji, mayetik konsantre gwo elèktron sou materyèl sous andedan dlo-creze refwadi, sistèm nan reyalize vitès evaporasyon rapid pandan y ap kenbe chaj tèmik izole nan mi chanm yo.
Achitekti a enkòpore sous elèktron milti-poch ak detèktè kwatz kristal mikro balans (QCM), asire fidelite fim esteyyometrik ak kontwòl epesè konsistan atravè plizyè kouch dielektrik oswa pil metalik.
Espesifikasyon teknik
|
Paramèt teknik |
Valè spesifikasyon |
|
Chanm jeyometri ak materyèl |
Φ600 mm x 600 mm silendrik veso; SS304 electropolished enteryè ak ekstèn jakèt dlo refwadisman |
|
Presyon baz ultim |
<= 5.0 x 10^-5 Pa (achieved via 12-hour bake-out and high-vacuum pumping) |
|
Ponpe -desann Tan Sik |
<= 15 minutes (From atmosphere to 1.0 x 10^-3 Pa) |
|
Pouvwa zam elèktron |
6 kW a 12 kW konfigirasyon milti-poch ak devyasyon gwo bout bwa 270 degre |
|
Crucible Hearth Kapasite |
4 a 6 pòch (Kwiv / grafit ka ranplase, 15cc a 40cc volim pou chak pòch) |
|
Wotasyon Etap Substra |
0 a 30 RPM vitès varyab planetè oswa kondwi dirèk |
|
Ranje chofaj substrate |
Anbyen a 600 degre atravè etalaj lanp alojene PID fèmen- |
|
Siveyans epesè |
Detèktè QCM doub ak kontwòl fidbak otomatik vole |
Karakteristik kle
Devyasyon mayetik 270 degre E-Zam:Izole filaman tengstèn la soti nan chemen vapè dirèk, anpeche kout -sikwi ak pwolonje lavi operasyonèl ant entèval antretyen.
Kontwòl Bale dijital:Modèl raster pwogramasyon distribye enèji elèktron inifòm atravè sifas evaporan an, diminye fòmasyon pinhole ak evaporasyon preferansyèl pandan depo alyaj.
Achitekti vakyòm dekouple:Liy degrasaj ak gwo-vakyòm ponpe yo izole estriktirèlman nan ankadreman chanm prensipal la pou siprime transfè vibrasyon mekanik pandan kwasans fim.
Matris sekirite pyès ki nan konpitè Verrouillage:Siveyans PLC an tan reyèl-nan koule dlo refwadisman, segondè-feedback vòltaj, presyon pneumatik, ak entegrite sele pòt la.
Konfigirasyon sistèm vakyòm
Sikwi vakyòm sou-enjenyè pou sikilasyon rapid ak presyon baz ba pou minimize enkòporasyon gaz rezidyèl (H2O, O2, N2) nan fim k ap grandi:
Ponp vakyòm segondè-:1200 L/s turbo-ponp molekilè ki te sipòte pa yon ponp vane rotary de etap-(oswa konfigirasyon ponp sèk woulo liv pou konfòmite chanm pwòp).
Wobinè izolman:Pneumatically actionné gwo -valv pòtay konduktivite izole chanm lan pandan operasyon chaj.
Mezi vakyòm:Konbine Pirani ak katòd frèt ionizasyon mezi ki kouvri kontinyèl ranje soti nan atmosfè a 10 ^ -6 Pa.
Materyèl fim ak substrats
Sous evaporan konpatib
Ksid & Dielectrics:SiO2, TiO2, Ta2O5, Al2O3, HfO2
Metal pi bon kalite:Au, Ag, Al, Ti, Cr, Pt, Ni
Semi-kondiktè ak kondiktè:Si, Ge, ITO (Indium eten oksid)
Aplikasyon
Filtè entèferans optik:Gwo-endèks ak ba-endèks milti-kouch depo pile pou filtè etwat-band pasaj ak miwa lazè.
Semiconductor aparèy fabrikasyon:Ohmik fòmasyon kontak, depozisyon oksid pòtay, ak kouch metal grenn.
OLED & Rechèch ekspozisyon:Depozisyon katòd metalik mens ak tès pasivasyon òganik/inòganik milti-kouch.
Kouch refractory difisil:Kouch ki reziste -pwoteksyon pou konpozan mekanik ak ayewospasyal yo.
Personnalisation
Ekspansyon chanm:Wotè veso pwolonje oswa jeyometri rektangilè pwepare pou entegrasyon zouti gwoup.
Entegrasyon sous:Sous evaporasyon tèmik konkouran (bato rezistan) konbine avèk zam elèktron.
Ion-Asistans Depozisyon (IAD):Entegrasyon yon fen-Hall oswa sous iyon Kaufman pou densifikasyon fim ak akor estrès.
Achitekti lojisyèl:PLC/HMI resèt pwogramasyon ki konfòm ak kad automatisation Siemens S7 oswa Beckhoff.
Kontwòl Kalite
Tès Espektwomèt Mas Elyòm Fuit:Chak chanm soude yo teste nan yon papòt rejè nan <1 x 10^-9 Pa·m3/s anvan entegrasyon.
Konfòmite elektrik:Segondè -tès rezistans dielektrik vòltaj ak verifikasyon kontinwite tè dapre direktiv CE/UL.
Tès Akseptasyon faktori (FAT):72-èdtan kontinyèl sèk-koub presyon baz anrejistreman tès, repetibilite e-travès, ak tan repons entèlock. Dokiman tès yo anbake ak inite a.
Enstalasyon ak sipò teknik
Komisyonin sit:Faktori -enjenyè sètifye jere aliyman mekanik, verifikasyon koule vakyòm, sipèvizyon koneksyon sèvis piblik, ak premye kalibrasyon kouri.
Fòmasyon teknik:3-jou sou plas fòmasyon pwotokòl operasyon ak antretyen ki kouvri ranplasman filaman, rebati valv vakyòm, ak koreksyon resèt.
Dokimantasyon livrezon:Ranpli lyan teknik ki gen ladan chema P&ID, dyagram fil elektrik, dosye backup PLC, ak detaye pyès rezèv.
Kesyon yo poze souvan
K: Ki dire lavi fonksyonèl filaman tengstèn e-zam lan, ak ki jan sèvis li?
A: Anba presyon travay estanda (<= 10^-4 Pa) and clean source materials, filament lifespan averages 30 to 50 operational hours. A quick-access vacuum flange allows cartridge exchange within 20 minutes without venting the entire manifold.
K: Ki jan sistèm nan anpeche krache pandan depozisyon oksid?
A: Dèlko dijital bale distribye enèji elèktron atravè yon matris raster kalkile sou granul oksid la. Sa a elimine surchof lokalize, anpeche eksplozif bouyi, epi siprime ekspilsyon mikwo-ti gout.
K: Ki enfrastrikti sèvis piblik ki obligatwa sou sit enstalasyon an?
A: Cooling Water: Supply pressure 0.25 MPa to 0.4 MPa, flow rate >= 30 L/min, tanperati 18 degre a 25 degre.
Griy elektrik: 3-faz, 380V ± 10%, 50/60 Hz (oswa faktori-konfigirasyon nan estanda rejyonal yo).
Lè konprese: 0.5 MPa a 0.7 MPa lè sèk pou actuators valv pneumatik.
K: Èske aksè dyagnostik aleka entegre nan sistèm kontwòl la?
A: Wi. Yon pò Ethernet izole sipòte koneksyon VPN an sekirite pou rekiperasyon aleka PLC boutèy demi lit ak depanaj lojisyèl pa ekip jeni nou an.
Baj popilè: elèktron gwo bout bwa evaporasyon mens fim ekipman, Lachin elèktron gwo bout bwa evaporasyon mens fim ekipman manifaktirè, Swèd, faktori
