Sistèm Evaporasyon Vakyòm Ion-Assisted Vacuum Evaporation System entegre gwo-vakyòm tèmik oswa sous evaporasyon elèktron-ak yon sous evaporasyon kalite Kaufman-oswa End-Hall. Lè yo bonbade fim nan k ap grandi ak gaz iyonize (Ar oswa O2) pandan depozisyon fizik vapè (PVD), sistèm nan transfere enèji sinetik nan adatoms, siprime mikrostruktur kolòn ak anpeche absòpsyon imidite nan fim optik ak dielectric mens.
Konstwi pou entegrasyon sal pwòp ak pwodiksyon kontinyèl milti-chanjman, sistèm nan echèl soti nan anprent R&D (chanm 300 mm) nan gwo -debitasyon liy endistriyèl (900 mm doub-pòt ak konfigirasyon wotasyon planetè).
Espesifikasyon teknik
|
Kategori Paramèt |
Espesifikasyon teknik |
|
Chanm Dimansyon |
600 mm x 600 mm x 600 mm (Personnalisable jiska 1200 mm) |
|
Materyèl Chanm |
304L Nerjaveèi, sifas entèn electropolished a Ra <0.2 um |
|
Presyon baz |
<= 5.0 x 10^-5 Pa (Achieved within 45 minutes from atmosphere) |
|
Presyon ultim |
<= 8.0 x 10^-6 Pa |
|
Sous evaporasyon |
Plizyè -poch E- zam gwo bout bwa (6 x 15cc / 4 x 40cc) ak sous tèmik rezistan |
|
Ion Sous |
End-Hall / Gridless Ion Source (Vòltaj gwo bout bwa: 50-300 V, Ion aktyèl: 0-500 mA) |
|
Aparèy Substra |
Mekanis wotasyon planèt (0-20 RPM) ak chofaj si ou vle (RT a 350 ° C) |
|
Kontwòl epesè fim |
Quartz Crystal Microbalance (QCM) ak tèt detèktè doub ak kontwolè PID fèmen-bouk |
Karakteristik kle
Toupre-Dansite esansyèl:Mobilite ki wo sifas adatom elimine porosite fim vizib ak maksimize dite mekanik.
Akor estrès intrinsèques:Enèji gwo bout bwa ion reglabl netralize estrès mekanik, anpeche delaminasyon sou pil dielectric epè.
Ba-Tèmik-Traitement Bidjè:Momentum-dansifikasyon kondwi pèmèt segondè-kouch pèfòmans sou tanperati-substra polymère sansib san distòsyon tèmik.
Otomatik resèt:PLC-kontwole vakyòm ak ponp-sekans desann jere atravè yon HMI tactile endistriyèl-panèl ak anrejistreman done.
Konfigirasyon sistèm vakyòm
Etap degrasaj:De etap-ponp mekanik rotary vane makonnen ak yon souflè rasin (150 L/s vitès) pou kwazman rapid.
Etap vakyòm segondè:Ponp turbomolekilè levitasyon mayetik (1600 L/s) ki te sipòte pa yon lwil oliv -ponp woulo liv sèk gratis pou elimine backstreaming idrokarbone.
Opsyon kriyojenik:Pyèj frèt nitwojèn likid ak entegrasyon kriyoponp pou presyon pasyèl vapè dlo ki ba-.
Mezi vakyòm:Kwa-kalibre Pirani ak katòd Fwad pou kòmantè nan tan reyèl-nan atmosfè rive nan 10^-7 Pa.
Materyèl evaporasyon ak konpatibilite substrate
Materyèl evaporasyon
oksid:SiO2, TiO2, Ta2O5, Nb2O5, Al2O3
Fliyò:MgF2, LaF3
Metal:Al, Ag, Au, Ti, Cr
Konpatibilite Substra
Substrat optik:Silice fusion, N-BK7, Silisyòm, Jèmanyòm, ak fennèt selenide zenk.
Semiconductor Wafers:100 mm a 300 mm Silisyòm ak konpoze semi-conducteurs.
Polymères:PET, PI (Polyimid), ak fim PMMA lè l sèvi avèk paramèt IAD -tanperati ba.
Aplikasyon
Optik presizyon:Kouch anti-reflektif (AR), miwa lazè, ak filtè bandpass etwat ki mande rezistans imidite.
Mikwoelektwonik:Elektwòd pòtay metal, kouch adezyon, ak baryè pasivasyon nan anbalaj semi-conducteurs.
Optoelektwonik:Kontak transparan oksid konduktif (TCO) ak kouch imidite OLED -enkapsulasyon baryè.
Opsyon personnalisation
Jeyometri chanm:Konstriksyon rektangilè oswa silendrik ki adapte ak kontrent miray chanm pwòp yo.
Entegrasyon milti-sous:Konfigirasyon ko-evaporasyon ki akomode jiska twa zam E-e ak kat bato tèmik.
Nan-Pò Metroloji Sit:Pò entegrasyon bride pou elipsomèt espektroskopik oswa sistèm siveyans optik.
Nivo Otomatik:Semi-rechèch bati otomatik oswa konplètman otomatize kasèt-a-manyaj wafer kasèt.
Kontwòl Kalite ak Pwotokòl Tès
Deteksyon koule:Tès espektwomèt mas Elyòm sou chak chanm ak yon papòt rejè strik nan < 1 x 10 ^ -9 Pa * m ^ 3 / s.
Verifikasyon pwòpte:Analiz analizè gaz rezidyèl (RGA) te fè anvan -chajman pou verifye zewo idrokarbur òganik.
Sistèm boule-nan:72-èd tan kontinyèl tès seche kondui mekanik, manifoul refwadisman, ak verrouillage elektrik.
Dokimantasyon:Sètifika tès moulen materyèl (MTRs), schematics elektrik, ak rapò akseptasyon faktori (FAT).
Enstalasyon ak sipò teknik
Preparasyon sit:Detailed facility guide covering floor loading, chilled water (>= 5 m^3/h), lè pwòp sèk (CDA), ak echapman.
Komisyonè:Deplwaman sèvis tèren pou nivelman mekanik, branche sèvis piblik, kalibrasyon vakyòm, ak siy resèt-desen.
Fòmasyon Operatè:5-jou pwogram sou plas ki kouvri operasyon, antretyen prevantif, depanaj, ak sekirite sekirite.
Pyès rezèv:Atik mete kritik (filaman, QCM kristal, sele, bi turbomolekilè) estoke rejyonalman.
Kesyon yo poze souvan
K: Ki jan IAD anpeche drift endèks refraktif?
A: Bonbadman iyon ekspilse gaz rezidyèl ki kwense yo ak konpak kwasans fim nan prèske -dansite en. Sa a sispann kondansasyon imidite anbyen sou vantilasyon atmosferik, sa ki asire zewo sant -chanjman longèdonn sou tan.
K: Ki entèval antretyen pou kadriyaj sous ion ak filaman?
A: Sous iyon End-Hall yo fonksyone pou 150-200 èdtan pwosesis depann sou gaz reyaktif yo. Kranpon degaje rapid pèmèt ranplasman eleman nan mwens pase 30 minit.
K: Èske sistèm nan ka okipe pwosesis reyaktif tankou TiO2?
A: Wi. Kontwolè gwo -presizyon mas koule (MFCs) enjekte oksijèn oswa nitwojèn dirèkteman nan chanm lan ak sous iyon, asire estekiometri konplè epi elimine absòpsyon sub-oksid.
Baj popilè: ion -asistans ekipman evaporasyon vakyòm, Lachin ion-asistans ekipman evaporasyon vakyòm manifaktirè, founisè, faktori
