Endistriyèl Ion-Sistèm Depozisyon Fim Mens Asistans
Ion-Assisted Thin Film Deposition System la entegre plizyè-poch elèktron-travès/evaporasyon tèmik ak yon gwo-pèfòmans End-Hall oswa Kaufman-sous iyon kalite. Pandan depozisyon fizik vapè (PVD), bonbadman ion enèjik transfere momantòm dirèkteman nan adatom sou sifas substra a, elimine vid mikrostruktur kolòn ak pwodwi gwo -dansite, fim mens ki estab nan anviwònman an.
Enjenieri pou fabwikasyon optik presizyon, mikwo-elektwonik semi-kondiktè, ak enstalasyon R&D avanse, platfòm sa a delivre pakèt strik -a-repetibilite pakèt pou filtè entèferans optik konplèks, kouch pwoteksyon difisil, ak kouch pasivasyon semi-kondiktè.
Espesifikasyon teknik
|
Paramèt |
Spesifikasyon |
|
Chanm Dimansyon |
Φ 600 mm × 600 mm (Echèl Custom disponib jiska Φ 1200 mm) |
|
Presyon baz ultim |
< 5.0 × 10⁻⁵ Pa (Fully baked, dry pumping architecture) |
|
Vacuum Pumping Suite |
1600 L/s ponp turbomolekilè mayetik levitasyon ki te sipòte pa yon konbinezon lwil oliv -rasin gratis/scroll ponp sèk |
|
Sous evaporasyon |
Plizyè -poch E- zam gwo bout bwa (4 × 10 kW kontwòl bale) ak sous tèmik rezistans |
|
Ion Sous Konfigirasyon |
Gridless End-Hall / Gridded Kaufman Source (Enèji Beam: 50–1500 eV, Ion Current: jiska 250 mA) |
|
Aparèy substrate |
Vitès varyab -etap wotasyon planetè ak chofaj substrate entegre jiska 350 degre |
|
Inifòmite epesè fim |
< ± 1% (measured across Φ 400 mm effective deposition zone) |
|
Sistèm Kontwòl Pwosesis |
PLC nwayo entegre ak yon PC endistriyèl kouri resèt -kondwi lojisyèl automatisation SCADA |
Karakteristik kle
Momentum-Mikwostrikti amelyore:Kontwole asistans ion ogmante mobilite sifas adatom, efektivman siprime kwasans pore grenn kolòn ak elimine chanjman endèks refraktif ki te koze pa absòpsyon imidite.
Doub-Chanèl Epesè Feedback:Entegre sond doub kwatz kristal microbalance (QCM) ansanm ak pò siveyans optik bande (BOM) pou -nanomèt tan reyèl-echèl epesè ak règleman to.
Ultra-Pwòp chanm vakyòm:Konstwi soti nan asye pur 304L ak fini elektwo-poli entèn, metal-sele tiyo VAT, ak pneumatik metal-brides garnitur pou minimize degasaj.
Règleman ki fèmen-bouk gaz reyaktif:Kontwolè gwo -presizyon mas koule (MFC) mezire oksijèn reyaktif, nitwojèn, ak gaz agon ak rezolisyon sub-sccm pou sekirize kouch konpoze esteyyometrik.
Konfigirasyon sistèm vakyòm
Liy degrosaj:Ponp woulo liv sèk ki fèmen hermetik, lwil -gratis elimine risk kontaminasyon idrokarbone nan etap degrosaj ak premye liy.
Entegrasyon vakyòm segondè:Ponp turbomolekilè Maglev makonnen dirèkteman nan chanm prensipal la atravè gwo -valv pòtay pneumatik konduktivite yo maksimize vitès ponpe pou pwosesis ak vapè dlo rezidyèl yo.
Dyagnostik vakyòm:Pirani redondants ak Cold Cathode kalib bay kontinyèl, kwa{0}}kalibrasyon anrejistreman presyon soti nan atmosfè desann nan 10⁻⁷ Pa.
Materyèl evaporasyon ak konpatibilite substrate
Materyèl evaporan:Oksid Dielectric: SiO₂, TiO₂, Ta₂O₅, Nb₂O₅, HfO₂, Al₂O₃
Fliyò:MgF₂, LaF₃
Metal refractory:Au, Ag, Al, Ti, Cr, NiCr
Subtips Substrate:Vid optik vè (BK7, silica fusion, kwatz), gauf semi-conducteurs (Silisyòm, GaAs), substrats kristal sèl -(LiNbO₃, safi), ak konpozan metal presizyon.
Aplikasyon
Optik presizyon:Narrowband wavelength-divizyon multiplexing (WDM) filtè, miwa liy lazè, ak kouch dirab anti-refleksyon (AR) pou sistèm lazè gwo-pouvwa.
Semiconductor fabrikasyon:Dielektrik oksid pòtay yo, kouch semans adezyon metal yo, ak rad pasivasyon baryè -imidite.
Optoelektwonik avanse:Polarizè fim mens -, kouch rekouvèt ond, ak transparan oksid konduktif (TCO) manyen- fim panèl.
Personnalisation
Pati chanm yo:Vètikal silenn klòch-bokal, de-konfigirasyon bwat kare pòt, oswa chanm pwòp-nan konsepsyon.
Sous modilarite:Repòtaj pòch kreze konte, segondè magnetron sputtering katod entegrasyon, oswa espesyalize RF konfigirasyon pouvwa patipri.
Otomatik Achitekti:Lojik PLC adapte, nivo pèmisyon sekirite SCADA, ak pwotokòl lame done SECS/GEM -.
Kontwòl Kalite
Validasyon eleman:Tout bride estriktirèl, vakyòm feedthroughs, elektwonik pouvwa, ak kontwolè koule mas sibi dimansyon endividyèl ak tès ban elektrik anvan asanble.
Sètifikasyon koule:Chanm rasanble yo sibi tès espektwomèt mas elyòm; papòt rejè a dwe rete anba a 1.0 × 10⁻⁹ Pa·m³/s.
Tès Akseptasyon faktori (FAT):Yon validation obligatwa 72-èdtan kontinyèl seche-ki kouvri koub drawdown ponpe, mekanik wotasyon planèt milti-aks, bouk sekirite interlock, ak estabilite emisyon zam e-travès.
Enstalasyon ak sipò teknik
Dokimantasyon:Bato ki gen desen asanblaj mekanik, chema elektrik, plan P&ID, rejis sous lojik PLC, ak gid antretyen prevantif.
Sou-Komisyonin sou sit:Enjenyè sèvis tèren yo dirije pozisyon mekanik, branche sèvis piblik (kouran, dlo refwadisman, lè konprese), ak sistèm inisyal kwit -out.
Fòmasyon Pwosesis:Gen ladann kouri kalibrasyon debaz, akor paramèt sous iyon, ak fòmasyon pwotokòl sekirite operatè.
Swen pou sik lavi:Sipò pou dyagnostik adistans atravè modil VPN chiffres, rezèv rejyonal pyès rezèv, ak odit kalibrasyon pwograme yo.
FAQ
K: Ki jan yo kontwole epesè kouch pandan plizyè-kouch depozisyon?
A: Sistèm nan itilize doub kwatz kristal microbalances (QCM) pou tan reyèl -tout ak swiv epesè. Pou pil entèferans optik konplèks, li entegre ak sistèm siveyans optik bande pou korije pwen revokasyon kouch dirèkteman nan koub transmisyon espèk.
K: Ki enfrastrikti sèvis piblik ki nesesè nan sit enstalasyon an?
A: Pwovizyon elektrik: 3-faz, 380V / 480V, 50/60Hz (konfigirasyon pou chak estanda kadriyaj rejyonal yo).
Dlo refwadisman: Tanperati 15-20 degre, to koule minimòm 30 L / min, presyon rezèv 0.3-0.4 MPa.
Process Gases: Ultra-high purity (>99.999%) Ar, O₂, ak N₂ reglemante pwòp nan 0.15 MPa.
K: Ki tan estanda a soti nan konfimasyon lòd ak livrezon?
A: Konfigirasyon estanda anjeneral mande pou 16 a 20 semèn. Dimansyon chanm totalman pèsonalize oswa platfòm entegrasyon milti-sous mande pou 24 a 30 semèn, depann sou siy konsepsyon jeni-dèyè ak akizisyon eleman espesyalize.
Baj popilè: iyon -asistans sistèm depo fim mens, Lachin ion-asistans sistèm depo fim mens manifaktirè, founisè, faktori
