Endistriyèl -sistèm kouch vakyòm ki entegre magnetron sputtering (RF/DC/HiPIMS) ak evaporasyon katodik arc. Ki fèt pou kontinyèl, milti-kouch, alyaj, ak nano-konpoze fim mens- depo nan echèl pwodiksyon.
Espesifikasyon teknik
|
Paramèt |
Valè spesifikasyon |
|
Presyon vakyòm ultim |
<= 5.0 x 10^-4 Pa (Turbo-molecular and roots-rotary pump configuration) |
|
Chanm Dimansyon |
Gwosè koutim soti nan D 600 mm x 600 mm a D 1500 mm x 1500 mm (304/316L elektwo-poli Nerjaveèi) |
|
Sous depo |
Configurable: 2-6 katod sputtering magnetron / 2-4 sous arc |
|
Pouvwa patipri substrate |
0 a -1000 VDC reglabl (enpulsyon DC pou substrats dyelèktrik) |
|
Inifòmite epesè fim |
<= +/- 3% across standard planar holder (via dynamic planetary rotation) |
|
Tanperati substrate |
Anbyen a 650 degre (+/- 2 degre PID fèmen-kontwòl bouk) |
|
Distribisyon pouvwa |
RF (13.56 MHz), DC, DC enpulsyonèl, ak Mid-Frekans (MF) ak sipresyon arc |
Karakteristik kle
Doub-Teknoloji Entegrasyon:Konbine sputtering (fim konpoze lis, amorphe) ak arc katodik (gwo -depo metal/alyaj ionizasyon) nan yon sèl sik ponp-.
Jesyon gaz ki fèmen-:Mass Flow Controllers (MFCs) ki asosye ak siveyans emisyon optik (OEM) estabilize presyon pasyèl gaz reyaktif.
Izolasyon mekanik:Kondwi planetè milti-aks izole bi mekanik nan zòn pwosesis la, pou anpeche kontaminasyon patikil.
Achitekti tèmik:Mi chanm doub-mi dlo-refwadi ak pwoteksyon radyasyon anpeche distòsyon tèmik pandan operasyon gwo-pouvwa.
Nwayo Otomatik:Siemens S7-1500 PLC ak WinCC SCADA achitekti pou siveyans an tan reyèl, gaz, ak pouvwa.
Konfigirasyon sistèm vakyòm
Tren degrossaj:Ponp vane rotary ak kondwi dirèk-apiye pa souffleur Roots ak sele likid mayetik.
Segondè vakyòm:Ponp turbo-molekilè ki gen levitasyon mayetik (1200 - 3200 L/s) oswa ponp kriyojenik.
Dyagnostik:Entegre pò tès espektwomèt mas Elyòm ak anklansaj sekans otomatik yo.
Materyèl ak konpatibilite substrate
Materyèl sib:
Metal:Ti, Cr, Al, Zr, Cu, TiAl, CrAl, Si
Seramik/Konpoze:TiN, CrN, TiAlN, DLC, Al2O3, SiO2
Substra:Zouti Steel (H13, M2, foure carbure), alyaj estriktirèl Titàn / Aliminyòm, seramik jeni, ak silisyòm wafers.
Aplikasyon ak pèfòmans pwouve
Koupe zouti:Ba-friksyon, segondè-dite milti-kouch kouch (TiAlN/TiN) pou lavi zouti pwolonje anba machin sèk segondè-vitès.
Otomobil:Mete ak anti-kouvwi pou bag piston ak broch piki gaz.
Aerospace:Oksidasyon-baryè tèmik ki reziste ak fim pwoteksyon sou lam COMPRESSOR ak fixation.
Optik ak Elektwonik:Kondiktif oksid transparan (ITO) ak filtè entèferans optik.
Opsyon personnalisation
Jeyometri chanm:Konfigirasyon bwat rektangilè pou chaje etajè pakèt oswa jeyometri silendrik inline.
Amelyorasyon sous:Bride katòd katod ki ka ranplase pou konvèsyon jaden an CFUBMS.
Plasma grave:Kaufmann-kalite zam iyon oswa sous katod kre pou netwayaj substrate in-situ.
Kontwòl Kalite & Tès Faktori
Entegrite vakyòm:Elyòm fuite tès papòt<= 1 x 10^-9 Pa*m^3/s.
Fini sifas:Chanm soude entèn elektwo-poli nan Ra<= 0.4 um.
GRIS:72-èd tan kontinyèl tès sèk nan vakyòm, mouvman, ak bouk sekirite sekirite anvan yo mete bwat.
Estanda Konfòmite:Bati nan direktiv machin CE ak estanda ISO 9001. (Trust Badge Icons: ISO 9001, CE, UL)
Enstalasyon ak sipò teknik
Pakèt Dokimantasyon:Schema P&ID, dyagram fil elektrik, lojik sous PLC, ak dosye konfòmite CE/UL.
Komisyonè:Enjenyè jaden sipèvize pozisyon mekanik, branche sèvis piblik, ak verifikasyon chèk koule.
SAT ak remèt resèt:Egzamen debaz sou -sit la ak optimize resèt.
FAQ
K: Ki tan ponp-desann pou presyon baz la?
A: Arive <5.0 x 10^-4 Pa nan lespas 45 minit anba kondisyon tèmik pwòp, sèk ak anbyen.
K: Èske sistèm nan ka chanje ant DC ak RF sputtering mitan{0}}pwosesis?
A: Wi. Matris pouvwa a pèmèt lojisyèl-kontwole sekans ant DC, DC enpulsyonèl, ak RF san yo pa kraze vakyòm.
K: Ki sèvis piblik ki nesesè sou sit-?
A: Dlo refwadi (15 a 20 degre nan 0.3 a 0.4 MPa), lè konprese (0.6 MPa), gwo -gaz pwosesis pite (Ar, N2, O2 nan 99.999%), ak dedye 3-faz pouvwa endistriyèl.
K: Ki jan tanperati substra kontwole pandan depo?
A: Piwomèt enfrawouj entegre makonnen ak bank aparèy chofaj radyan ak kontwòl PID fèmen -bouk.
Baj popilè: pvd konpoze sistèm fim mens, Lachin pvd konpoze sistèm fim mens manifaktirè, Swèd, faktori
