Sistèm PVD evaporasyon ark katodik endistriyèl la itilize ba -vòltaj, gwo -ak elektrik aktyèl pou vaporize sib katod solid nan yon anviwònman vakyòm. Mekanis sa a reyalize yon pousantaj ionizasyon metal ki depase 80%, asire segondè fòs lyezon chimik ak adezyon substra konpare ak evaporasyon tèmik oswa estanda magnetron sputtering.
Enjenyè pou pwodiksyon kontinyèl milti-orè, sistèm nan entegre yon gwo-kalib chanm vakyòm asye pur, asanble modil katod volan, ak yon achitekti kontwòl otomatik ki baze sou PLC-.
Espesifikasyon teknik
|
Paramèt teknik |
Espesifikasyon Range / Valè |
|
Chanm Dimansyon |
Konfigirasyon koutim: Phi 800 mm x 1000 mm pou Phi 2000 mm x 2200 mm |
|
Materyèl chanm |
Double-ranpa SUS304 oswa SUS316L Nerjaveèi, jakèt ki refwadi dlo- |
|
Presyon vakyòm ultim |
<= 5.0 x 10^-4 Pa (after bakeout and outgassing) |
|
Enstalasyon sistèm ponpe |
Rotary vane roughing pump + Roots blower + Turbo-molekilè / ponp difizyon |
|
Arc Power Supply |
Aktyèl DC reglabl: 0 - 200 A pou chak chanèl; vòltaj ignisyon: 380 V |
|
Pouvwa patipri substrate |
Enpulsyon DC patipri: 0 - -1000 V, frekans 10 - 100 kHz |
|
Sous Katod |
4 - 12 mayetik-konfinasyon sous sikilè oswa rektangilè |
|
Wotasyon Substra |
Planèt oswa doub -wotasyon aks kondwi pa gwo -couple feedthrough likid mayetik |
|
Tanperati Fonksyònman |
Anbyen a 600 °C ak aparèy chofaj radyan ki kontwole PID- |
|
Sistèm kontwòl |
Siemens S7-1500 PLC + Endistriyèl PC kouri lojisyèl SCADA |
Karakteristik kle
Segondè efikasite ionizasyon:Vaporizasyon katòd dirèk pwodui plasma metalik ki konplètman iyonize pou kwasans fim mens, defo-kontwole- nan tanperati modere.
Opsyon mayetik filtre arc:Entegre bobin elektwomayetik volan minimize ekspilsyon macropartikul (ti gout) pou delivre fini kouch lis pou zouti presizyon.
Depozisyon milti-kouch / gradyan:Operasyon synchrone milti-katod pèmèt sentèz kouch tranzisyon gradye (egzanp, Ti/TiN/TiAlN) san yo pa kraze vakyòm.
Fèmen-Kontwòl Pwosesis Bouk:Tan reyèl -bouk fidbak kontwole koule gaz reyaktif (azòt, asetilèn, oksijèn) atravè gwo -kontwolè koule mas (MFC) presizyon pou kenbe presyon pasyèl sib.
Konfigirasyon sistèm vakyòm
Pile ponpe:Degrossaj prensipal itilize ponp vane rotary de etap-ki te sipòte pa souflè Roots. Gwo-atize vakyòm depann sou gwo-ponp difizyon oswa ponp turbomolekilè.
Tiyo ak kanalizasyon:Tiyo ang chanm konpwesyon lè ak tiyo pòtay electropneumatic izole zòn chanm otomatikman. Manifoul yo sèvi ak ISO/KF ak CF bride tib asye pur ak ajan -plake sele kwiv oswa Viton O-bag.
Deteksyon koule:Pò tès espektwomèt mas entegre elyòm pèmèt dyagnostik desann nan 10 ^ -10 Pa * m ^ 3 / s.
Materyèl evaporasyon ak konpatibilite substrate
Materyèl Katod konpatib
Metal pi bon kalite:Ti, Cr, Al, Zr, Cu, Mo, W, Ag, TiAl alyaj (egzanp, 50/50 oswa 33/67 rapò atomik).
Objektif konpoze:TiC, CrC, WC.
Konpatibilite Substra
Zouti Steel:Asye ki gen gwo vitès-(M2, H13) ak carbure simante (WC-ko foure).
Alyaj estriktirèl:Nerjaveèi, alyaj Titàn (TC4), ak superalliaj ki baze sou nikèl-.
Jeni Seramik:Silisyòm nitrure ak alumina ak pre{0}}tretman kondiktif.
Aplikasyon ak mezi pèfòmans verifye
Koupe ak fòme zouti:TiN, TiAlN, and AlTiN coatings on carbide drills and milling cutters. Achieves surface hardness >= 3000 HV ak pwolonje lavi usure zouti pa 200% - 400%.
Konpozan otomobil:Anti-kouvwi sou bag piston yo, tappets, ak zegwi enjektè gaz. Diminye koyefisyan friksyon an nan 0.15 - 0.25 kont asye.
Enplantasyon medikal: Biocompatible TiN and ZrN layers applied to orthopedic joints and dental abutments, verified via scratch adhesion testing (Critical Load Lc >= 70 N).
Mwazi ak mouri:CrN oswa DLC kouch sou piki plastik ak mwazi Stamping pou elimine mete adezif ak fasilite lage pyès travay la.
Opsyon personnalisation
Jeyometri chanm:Konfigirasyon chaj-tip vètikal oswa orizontal devan-chajman.
Layout sous:Koutim pwezante katod pwepare pou jeyometri pyès travay 3D (egzanp, mouri extrusion long oswa lam turbine).
Amelyorasyon dèlko bias:Entegrasyon modil ibrid segondè -power impulse magnetron sputtering (HIPIMS).
Entegrasyon Otomatik:Entèfas chaj robotik ak ray transfè aparèy otomatik pou anviwònman sal pwòp.
Kontwòl Kalite & Tès Faktori
Anvan Tès Akseptasyon Faktori (FAT), sistèm yo sibi:
Tès koule vakyòm:Verifikasyon espektwomèt mas elyòm sou tout soude ak sele.
Verifikasyon sekirite elektrik:Rezistans izolasyon, kontinwite tè, ak verrouillage lojik chèk ki konfòme ak estanda CE / UL.
Boule fonksyonèl-nan:72-èd tan kontinyèl tès sèk nan kondui wotasyon, switch koule, ak kominikasyon PLC.
Kouch tès kouri:Egzanp depo verifye atravè mezi epesè fim kratè ak boul-ak tès grafouyen endentasyon Rockwell.
Enstalasyon ak sipò teknik
Preparasyon sit:Comprehensive utility layout documentation covering cooling water flow (>15 m^3/h, 20 - 25 degre C), lè konprese, vantilasyon, ak gout elektrik (380V/480V, 3-faz, 50/60 Hz).
Komisyonè:Sou sit-enstalasyon, kalibrasyon vakyòm, ak optimize resèt pa enjenyè pwosesis ansyen.
Fòmasyon Operatè:Enstriksyon pratik-ki kouvri antretyen woutin, ranplasman sib, ak operasyon SCADA.
Sipò apre-lavant:Aksè dyagnostik adistans atravè vpn endistriyèl an sekirite; garanti repons teknik nan 24 èdtan.
Kesyon yo poze souvan
K: Ki tan nòmal pou ranplasman sib katod?
A: Brides mekanik ki lage rapid-pèmèt yon operatè ranplase sib ki depanse nan 30 - 45 minit pou chak sous san yo pa demonte pwoteksyon chanm entèn yo.
K: Èske sistèm kontwòl la ka magazen plizyè pwofil resèt?
A: Wi. Siemens endistriyèl PLC magazen jiska 100 resèt diferan, swiv patipri netwayaj, dire chofaj, ranp gaz reyaktif, nivo aktyèl arc, ak distribisyon depo.
K: Ki enfrastrikti sèvis piblik yo dwe pwovizyon sou sit-?
A: Enstalasyon yo mande pou yon sistèm dlo frèt bouk fèmen -, lè konprese (0.6 - 0.8 MPa) pou tiyo pneumatik, ki estab 3-faz kouran endistriyèl ki matche ak chaj total ki konekte, ak liy ekstraksyon echapman lokal yo.
Baj popilè: arc evaporasyon pvd ekipman, Lachin arc evaporasyon pvd ekipman manifaktirè, Swèd, faktori
