Sistèm depozisyon fizik vapè (PVD) ki itilize arc elektrik ki ba-, gwo -aktyèl lokal pou vaporize sib katod solid yo nan plasma totalman iyonize. Pousantaj ionizasyon segondè (40%-80%) kondui lyezon nan nivo atomik-dans ak gwo estrès konpresiv, sa ki pèmèt gwo -depozisyon depo -ki reziste ak dekoratif kouch sou asye gwo vitès (HSS), zouti koupe carbure, konpozan otomobil ak aparèy medikal.
Espesifikasyon teknik
|
Paramèt |
Espesifikasyon Range / Detay |
|
Chanm Dimansyon |
Customized volim entèn (Φ 800 × 1000 mm pou Φ 1500 × 1600 mm, SUS304/SUS316L doub -mi dlo-refwadi) |
|
Presyon ultim |
Mwens pase oswa egal a 5.0 × 10⁻⁴ Pa (turbomolekilè ak rasin / konfigirasyon ponp sipò rotary) |
|
Travay presyon |
0.1 Pa ~ 2.0 Pa (Ar, N₂, C₂H₂, O₂) |
|
Sous Katòd Arc |
4 a 12 distribye sikilè / rektangilè filtre oswa sous estanda ak volan mayetik endepandan |
|
Patipri substrate |
Enpulsyon DC patipri (0 a -1000 V reglabl, 10-100 kHz) |
|
Sistèm chofaj |
Aparèy chofaj kwatz radyativ; maksimòm tanperati boulanjri 500 degre (± 5 degre inifòmite) |
|
Kontwòl Achitekti |
Siemens PLC + Endistriyèl PC (IPC); otomatik resèt ekzekisyon ak manyèl pyès ki nan konpitè override |
|
Pwovizyon pou Elektrik |
3-faz, 380V / 480V, 50Hz / 60Hz (konfigirasyon pa estanda rejyonal yo) |
Karakteristik kle
Segondè efikasite ionizasyon:Pousantaj iyonizasyon Plasma rive nan 40%-80%, asire fim siperyè -a-substra adezyon.
Katod modilè:Chanjman rapid -asanble sib minimize tan antretyen; konpatib ak katod silendrik planar ak rotative.
Fèmen-Kontwòl Gaz Bouk:Kontwolè koule mas MKS kenbe presi gaz reyaktif pasyèl presyon pou fim konpoze (TiAlN, TiCN).
Multi-Wotasyon Planèt aks:Kondwi wotasyon ak revolisyon Customized asire inifòmite epesè (± 5%) atravè jeyometri 3D konplèks.
Operasyon de-mòd:Sipòte evaporasyon ak arc DC ak entegrasyon sputtering enpulsyonèl patipri pou achitekti milti-kouch.
Konfigirasyon sistèm vakyòm
Ponp degrosaj:Rasin ak konbinezon ponp rotary vane pou ponp rapid-desann atmosfè a 10 Pa.
Ponp vakyòm segondè:Ponp turbomolekilè ki gen levitasyon mayetik (1600–3200 L/s) ki asire presyon baz idrokarbone -gratis.
Tiyo ak mezi:Pneumatic gwo-valv baryè vakyòm ak Pirani ak katòd frèt iyonizasyon anklanche pou anpeche lwil oliv backstreaming.
[Gid Vizyèl pou Pwodiktè Web]:Mete foto schematic oswa klè nan layout plonbri vakyòm, mete aksan sou ponp turbomolekilè ak pwezante valv pòtay chanm konpwesyon lè.
Materyèl evaporasyon ak konpatibilite substrate
Objektif Katod estanda (pite ki pi gran pase oswa egal a 99.95%)
Metal Tranzisyon:Ti, Cr, Zr, Al, TiAl (50/50, 33/67 atomik rapò), CrAl, W, Nb, Si.
Alyaj ak konpoze:Graphite (pou DLC interlayers), asye pur.
Konpatibilite Substra ak Pre-Tretman
Materyèl:WC-Zouti pou koupe ansanm, kouto hobbing, broch, mouri Stamping, mwazi piki, alyaj Titàn (Klas 5), ak asye pur.
Pre-tretman:Dégraisage à solvants ak nan -situ ion bonbadman netwaye (Ar⁺ plasma grave) andedan chanm lan anvan depozisyon.
Aplikasyon
Koupe ak fòme zouti:TiN, TiAlN, ak AlCrN kouch ogmante dite sifas a 3000-3500 HV, siprime kratering tèmik ak mete abrazif.
Konpozan otomobil:Friksyon -redui kouch pou bag piston, broch piki gaz, ak konpozan angrenaj.
Enplantasyon medikal:Biokonpatib TiN ak ZrN kouch difisil sou ranplasman jwenti topedik ak vis chirijikal.
Materyèl dekoratif:Pwodiksyon spectre koulè (an kwiv, rose lò, gunmetal nwa, Titàn gri) atravè akor gaz reyaktif.
Opsyon personnalisation
Jeyometri chanm:Konfigirasyon chajman vètikal (twou-monte oswa etaj-kanpe) oswa orizontal devan-konfigirasyon.
Konfigirasyon sous:Filtre katodik arc (FAC) sous kanal mayetik elimine makropartikil pou elektwonik optik oswa presizyon.
Otomatik:Bras chaje robo, entegrasyon anbakadè AGV, ak pwotokòl anrejistreman done MES.
Kontwòl Kalite & Tès Faktori
Deteksyon koule:Tès espektwomèt mas elyòm sou tout chanm ak kouti soude (mwens pase oswa egal a 1 × 10⁻⁹ Pa·m³/s).
Sekirite elektrik:Rezistans izolasyon segondè -vòltaj, kontinwite tè, ak verifikasyon fonksyonèl PLC verifikasyon.
Esè kouri (FAT):72-èdtan kontinyèl sèk-tès kouri plis tès estanda depo kouch evalye atravè tès Calo (epesè) ak tèsteur grafouyen (adezyon).
Pake Dokimantasyon:Schema elektrik, dyagram P&ID, kòd sous PLC, sètifika materyèl, ak rapò FAT.
Enstalasyon ak sipò teknik
Preparasyon sit:Desen detaye, mezi dlo refwadisman, ak espesifikasyon distribisyon pouvwa yo bay 4 semèn anvan chajman.
Komisyonè:Sou plas-asanblaj mekanik, kalibrasyon vakyòm, ak transmisyon resèt pa enjenyè pwosesis ansyen yo.
Fòmasyon:Enstriksyon pratik-ki kouvri antretyen pyès ki nan konpitè, depanaj vakyòm, ak pwotokòl sekirite.
Sipò:Entegrasyon lojisyèl dyagnostik adistans pou depanaj PLC an tan reyèl-, ki te sipòte pa envantè rejyonal pyès rezèv yo.
FAQ
K: Ki jan sistèm nan kontwole makropartikil (ti gout)?
A: Sistèm estanda yo sèvi ak jaden optimize mayetik pou dirije tach ark rapidman. Pou aplikasyon optik oswa ultra-lis, nou entegre kanal mayetik Filtered Cathodic Arc (FAC) pou filtre ti gout yo nèt.
K: Ki pousantaj itilizasyon sib ak tan ranplasman?
A: Objektif planè ak sikilè reyalize 45% -60% itilizasyon. Sib yo se dlo-refwadi epi yo monte atravè sele rapid-klanp, sa ki pèmèt ranplasman sib nan 45 minit.
K: Ki kondisyon sèvis piblik etablisman yo?
A: rezèv dlo frèt (8-15 m³ / h, 18-22 degre, 0.2-0.3 MPa), lè konprese (0.6 MPa), ak ki estab 3-faz pouvwa endistriyèl.
K: Èske yo ka transfere resèt pwosesis ki egziste deja?
A: Wi. Platfòm IPC Siemens a pèmèt antre dirèk paramèt pou kouran arc, vòltaj patipri, koule gaz, ak dire pou matche ak resèt endistriyèl ki egziste deja.
Baj popilè: katodik arc mens fim ekipman, Lachin katodik arc mens fim ekipman manifaktirè, Swèd, faktori
