Ekipman Depo Endistriyèl PVD Konpozitè fèt pou plizyè-konpozan, milti-kouch, ak nano-konpoze fim mens-. Sistèm nan entegre evaporasyon tèmik, e-evaporasyon gwo bout bwa, ak sous magnetron sputtering nan yon anviwònman vakyòm sèl pou kontwole konpozisyon fim, netteté koòdone, ak estrès rezidyèl. Bati pou R & D kontinyèl ak pwodiksyon, achitekti a prezante presyon debaz ki ba, konfigirasyon sous modilè, ak aksè antretyen pwòp.
Espesifikasyon teknik
|
Paramèt |
Espesifikasyon Range / Valè |
|
Presyon vakyòm ultim |
<= 5.0 x 10^-5 Pa (cryo/turbomolecular configuration) |
|
Ponpe-Tan Desann |
Atmosfè a 6.0 x 10^-4 Pa pous<= 15 minutes (clean, dry, empty chamber) |
|
Size Holder Substra |
Konfigirasyon Customized: jiska Dia. 600 mm plak plat oswa etap planetè |
|
Inifòmite epesè fim |
< +/- 1.5% across standard working area (verified via in-situ optical monitoring) |
|
Ranje Tanperati Substra |
Anbyen a 800 degre C (PID kontwole, alojene kwatz / chofaj reziste) |
|
Sous depo |
Zam milti-poch e-, bato tèmik, ak katod magnetron RF/DC |
|
Materyèl chanm |
304L/316L Nerjaveèi, elektwo-mi enteryè poli (Ra<= 0.2 um) |
|
Sistèm kontwòl entèfas |
Achitekti PLC + IPC, ekzekisyon resèt otomatik, antre SCADA |
Karakteristik kle
Entegrasyon sous modilè:Pò chanm yo akomode operasyon similtane oswa sekans nan sous evaporasyon ak sputtering san kwa-kontaminasyon.
Manipilasyon Substra dinamik:Plizyè-aks planetè oswa mekanis wotasyon balanse asire kouch konfòm sou substra 3D konplèks ak tranche gwo twou san fon.
Nan-Pò Siveyans Sit:Pre-brides ki aliye pou mikwo-balans kwatz kristal (QCM), spèktroskopi emisyon optik (OES), ak siveyans optik bande (BOM).
Entegrite vakyòm ki wo -pite:Metal -sele konflat (CF) bride, tiyo pòtay chanm konpwesyon lè, ak Elyòm mas spectrometer fuit tès desann nan 1.0 x 10^-10 Pa * m3/s.
Sekirite Otomatik Interlock:Feedback detèktè tan reyèl-pwoteje kont echèk dlo refwadisman, pèt lè konprese, ak anomali tanperati ki depase-.
Konfigirasyon sistèm vakyòm
Ponp degrosaj ak rasin:Lwil-ponp vis sèk gratis konbine avèk souflè rasin yo anpeche idrokarbone backstreaming nan chanm pwosesis la.
Ponp vakyòm ki wo-:Ponp turbomolekilè levitasyon mayetik oswa ponp kriyojenik elyòm bouk fèmen -ki chwazi pou chak kondisyon chaj gaz sib.
Règleman presyon:Kontwolè valv gaz entegre ak manomèt kapasite kenbe presyon pwosesis ki estab (0.1 Pa a 10 Pa) pandan kouri reyaktif.
Materyèl ak konpatibilite substrate
Materyèl depo
Metal:Ti, Al, Cr, Cu, Au, Ag, Ni, Mo, W, Pt
Ksid & Dielectrics:SiO2, TiO2, Ta2O5, Al2O3, HfO2
Nitrur ak Carbide:TiN, TiAlN, CrN, Si3N4
Materyèl substrate
Semiconductors:Silisyòm wafers (100 mm a 300 mm), vè, kwatz, safi
Metal ak alyaj:Nerjaveèi asye, alyaj Titàn, asye zouti, superalliaj
Seramik & Polymers:Alumina, zirkonya, fim polyimid
Aplikasyon
Filtè entèferans optik:Plizyè-kouch anti-kouvwi (AR), filtè bandpass, ak segondè-reflektè miwa pou lazè ak detèktè.
Mete -Revwi di ki reziste: Nanocomposite nitrure kouch (TiAlN/Si3N4) sou zouti koupe presizyon ak valvetrains otomobil.
Mikwoelektwonik fim mens:Kouch baryè kondiktif, kouch grenn, ak pil metalizasyon kontak pou anbalaj semi-conducteurs.
Fim enèji fonksyonèl:Transparan oksid konduktif (TCO) ak kouch absòbe pou fotovoltaik ak aparèy detèktè.
Opsyon personnalisation
Dimansyon chanm:Volim echèl soti nan echèl R&D (400 mm kib) rive nan echèl pwodiksyon (Dia. 1200 mm silendrik).
Dispozisyon pò sous:Pozisyon bride pèsonalize pou entegre sous iyon twazyèm-pati, plasma-depo asistans (PAD), oswa dèlko patipri RF.
Chaje-Bloke Entegrasyon:Chajman manyèl -lock, yon sèl-chaj wafer-lock, oswa plizyè-konfigirasyon zouti grap chanm pou anpeche oksidasyon.
Kontwòl Kalite & Konfòmite Global
Konfòmite mondyal elektrik ak sekirite:Kabinè kontwòl bati nan UL 508A / NFPA 79 (Amerik di Nò), CE (Ewòp), ak direktiv SEMI S2/S8 EHS.
Tès vakyòm:Chanm soude yo sibi deteksyon fuit espektwomèt mas Elyòm anvan fini sifas yo.
Enspeksyon dimansyon:Kowòdone machin mezi (CMM) verifikasyon nan sous aliye avyon ak tolerans substra.
Tès Akseptasyon faktori (FAT):72-èdtan kontinyèl sèk-kouri tès anrejistreman dekonpozisyon presyon baz, koub ponp-desann, ak jounal repons PLC.
Enstalasyon ak sipò teknik
Jeni anvan-enstalasyon:Pwovizyon manyèl egzijans etablisman (utilite, koule/presyon dlo refwadisman, vantilasyon echapman, chaj etaj chanm pwòp).
Sou-Komisyonin sou sit:Enjenyè sèvis tèren yo sipèvize gréement, branchement liy vakyòm, mare elektrik-nan, ak ponp inisyal-desann.
Pwosesis Réglage Asistans:Esè kolaborasyon kouri ak ekip jeni kliyan pou verifye inifòmite fim ak pousantaj depo.
Sipò pou sik lavi:Entegrasyon modil dyagnostik adistans pou depanaj PLC an tan reyèl-, ki sipòte pa envantè lokalize pyès rezèv.
Kesyon yo poze souvan
K: Ki tan an plon pou yon sistèm koutim?
A: Konfigirasyon estanda mande pou 16 a 24 semèn soti nan apwobasyon desen ak preparasyon faktori, tou depann de tan ponp vakyòm.
K: Ki jan yo jere kwa-kontaminasyon pandan plizyè-sous ko-depo?
A: Chanm yo enkòpore pwoteksyon fizik ant sous yo, panno sous endividyèl, ak bag distribisyon gaz direksyon pou anpeche migrasyon patikil.
K: Èske ekipman sa a ka entegre nan yon enstalasyon sal pwòp?
A: Wi. Sistèm sipòte nan enstalasyon nan--mi (sal jòn / chanm pwòp), mete chanm pwosesis la andedan sal pwòp la ak etajè sèvis piblik yo nan chase sèvis la.
K: Ki kondisyon sèvis piblik yo dwe prepare anvan livrezon?
A: Requirements include 3-phase power (configured to local 480V/380V standards), chilled cooling water (18 deg.C to 22 deg.C, >= 3 ba), lè konprese (6 bar sèk/filtre), ak yon liy tiyo echapman ponp devwe devwe.
Baj popilè: pvd konpoze depo ekipman, Lachin pvd konpoze depo ekipman manifaktirè, Swèd, faktori
