Ekipman fim mens konpoze PVD la se yon platfòm vakyòm endistriyèl ki fèt pou fè sentèz milti-kouch, alyaj, ak fim mens gradye. Bati sou yon achitekti modilè asye pur 304L/316L, li entegre jiska kat sous depo endepandan -ki gen ladan DC/RF magnetron sputtering, evaporasyon gwo bout bwa elèktron, ak sous tèmik-nan yon sèl kontaminasyon-chanm kontwole. Sistèm nan bay kontwòl egzak sou mikrostruktur fim, estrès rezidyèl, ak gradyan konpozisyon pou liy pwodiksyon ak R&D avanse.
Espesifikasyon teknik
|
Paramèt |
Spesifikasyon |
Estanda / Kondisyon |
|
Presyon baz ultim |
<= 5.0 x 10^-6 Pa |
Cryo/Turbo apiye |
|
Travay presyon |
0.1 a 5.0 Pa |
Pwosesis depann |
|
Kapasite substrate |
φ300 mm wafers oswa 400 x 400 mm substrats |
Palettes personnalisé disponib |
|
Inifòmite epesè |
<= ±2% |
Mezire atravè tout zòn substra |
|
Tanperati substrate |
Tanperati chanm nan 800 degre |
Bouk fèmen-PID kontwole |
|
Pò depo |
4 fant modilè endepandan |
Sputter / E-gwo bout bwa configurable |
|
Chanm Konstriksyon |
304L / 316L Nerjaveèi |
Elektwo-poli, Ra<= 0.2 μm |
|
Distribisyon pouvwa |
DC, RF (13.56 MHz), DC enpulsyonèl, patipri |
PLC sekirite anklanche |
Karakteristik kle
Achitekti milti-modilè:Egzekite sekans oswa ko{0}}depozisyon soti nan jiska kat sous nan yon sèl sik vakyòm.
Ultra-Pwòp Entegrite Vacuum:Anplwaye metal-sele CF bride, tiyo pòtay pneumatik, ak lwil oliv-grassaj gratis/turbomolekilè ponpe pou anpeche kontaminasyon idrokarbone.
Patizaj Substra Dinamik:Varyab frekans RF/DC patipri kontwole enèji iyon fèk ap rantre pou gouvène dansite fim, dite, ak estrès.
Kontwòl resèt otomatik:Endistriyèl PLC ak HMI sere jiska 200 pwofil pwosesis, otomatik ponp-desann, aksyon vole, ak vantilasyon.
Nan-Pò Siveyans Sit:Bride ki te deja konfigirasyon -akomode detèktè epesè QCM ak espektwomèt emisyon optik (OES).
Vacuum & Gas Subsystems
Pile ponpe:Lwil -rasin gratis/ponp degrosaj vis ki asosye ak turboponp mayetik levitasyon oswa kriyoponp rive nan 5 x 10^-6 Pa soti nan atmosfè nan 45 minit.
Livrezon gaz:Mass Flow Controllers (MFCs) kontwole Ar, O2, ak N2 ak presizyon ±1% Echèl konplè; purifikateur entegre kenbe 99.9999% gaz pite.
Jesyon tèmik:Kò chanm yo gen doub-mi dlo-kanal refwadisman pou estabilize dimansyon estriktirèl pandan tanperati wo-.
Materyèl ak konpatibilite substrate
Materyèl sipòte
Metal:Ti, Cr, Al, Cu, Au, Pt, NiCr, TiAl
Dielektrik / oksid:SiO2, TiO2, Al2O3, Si3N4
Kouch difisil:TiN, TiCN, CrN, DLC interlayer
Konpatibilite Substra
Silisyòm wafers (φ100 mm pou φ300 mm).
Silice fusion, kwatz, ak substrats optik seramik.
Zouti asye ak alyaj Titàn ki egzije pre-pwòp RF plasma grave.
Aplikasyon
Semiconductor:Kouch baryè, kouch grenn, ak pil metal entèkonekte.
Optik:Filtè entèferans optik, kouch anti-reflektif (AR), ak miwa segondè-reflektè.
Mete pwoteksyon:Plizyè -kouch di kouch pou zouti koupe ak konpozan ayewospasyal.
Depo enèji:Fim mens pou elektwolit batri solid-ak pèseptè aktyèl yo.
Personnalisation
Jeyometri chanm:Modifye dimansyon entèn yo oswa ang pò yo anfòm kenkayri eritaj oswa waf bwat gan yo.
Adaptasyon Sous:Entegre espesifik e-evalyasyon zam travès, longè magnetron, oswa bato tèmik.
Entegrasyon lojisyèl:Konfigure lojik PLC pou matche ak pwotokòl SCADA etablisman yo oswa estanda SECS/GEM.
Kontwòl Kalite
Deteksyon koule:Elyòm mas spectrometer tès verifye desann nan 1 x 10^-10 Pa·m³/s.
Sekirite elektrik:Kontinwite tè, rezistans izolasyon, ak verifikasyon E-stop dapre estanda CE/NFPA.
Pre-Spedisyon:Depozisyon tès faktori verifye presyon baz, estabilite sous, ak inifòmite epesè; fèy done bato ak inite a.
Enstalasyon & Sipò
Dokimantasyon:Konplete chema elektrik, dyagram P&ID, manyèl operasyon PLC, ak sètifika kalibrasyon.
Akseptasyon faktori (FAT):Enspeksyon kliyan ak validation kouri nan etaj fabrikasyon nou an anvan yo kase.
Komisyonin (SAT):Enjenyè tèren yo sipèvize aliyman mekanik, koneksyon sèvis piblik, ak tès akseptasyon sou -sou sit.
FAQ
K: Ki tan sistèm estanda a?
A: 16 a 24 semèn, tou depann de volim chanm, kantite sous, ak kondisyon automatisation koutim.
K: Èske sistèm nan ka chanje ant RF sputtering ak E-evaporasyon gwo bout bwa san kraze vakyòm?
A: Wi. Achitekti milti-pò pèmèt otomatik depozisyon sekans atravè sous diferan anba vakyòm kontinyèl.
K: Ki koneksyon sèvis piblik ki nesesè sou sit-?
A: 3-faz AC pouvwa, fèmen-bouk dlo frèt (18 degre a 22 degre), lè konprese (0.6 MPa), ak liy gaz pwosesis dedye.
K: Ki jan tanperati substra kontwole pandan pwosesis la?
A: Moun ki gen substrate yo sèvi ak tèrmokapteur ki entegre oswa piromèt optik ki mare ak aparèy chofaj PID ki fèmen -yo ak refwadisman kondiksyon gaz dèyè.
Baj popilè: pvd konpoze ekipman fim mens, Lachin pvd konpoze manifaktirè ekipman fim mens, Swèd, faktori
