Sistèm depozisyon vakyòm milti-ark sa a sèvi ak teknoloji plak iyon katodik pou depoze kouch ki difisil, ki gen gwo -adezyon sou substra metalik ak ki pa-. Lè yo frape yon ba -vòltaj, gwo-ak kouran sou sib katod solid, materyèl yo vaporize ak ionize imedyatman nan yon anviwònman vakyòm. Akselere pa yon vòltaj patipri negatif, iyon metal reyaji ak gaz reyaktif (N2, C2H2, O2) yo fòme fim konpoze esteyometrik.
Enjenieri pou chanm zouti endistriyèl, manifaktirè eleman otomobil, ak biwo sèvis kouch endepandan, sistèm nan delivre dite fim repete, koyefisyan friksyon ki ba, ak rezistans oksidasyon. Chak machin konfigirasyon baze sou debi pakèt, jeyometri substra, ak achitekti kouch sib (monokouch, multikouch, oswa gradyan).
Espesifikasyon teknik
|
Paramèt |
Gamme spesifikasyon |
Nòt / Opsyon Konfigirasyon |
|
Chanm Dimansyon |
Custom (egzanp, Φ 800 × 1000 mm jiska Φ 1500 × 1800 mm) |
304 oswa 316L asye pur, doub-mi dlo-refwadi jakèt |
|
Presyon vakyòm ultim |
<= 5.0 × 10^-4 Pa |
Mezire atravè katod frèt ak mezi Pirani apre 4-èdtan kwit-out |
|
Ponpe-Tan Desann |
Atmosfè a 6.0 × 10^-3 Pa pous<= 15 minutes |
Tou depan de kondisyon chanm pwòp ak konfigirasyon ponp |
|
Katod Arc Sous |
4 a 12 inite (rektangilè oswa sikilè) |
Konsepsyon mayetik pou minimize jenerasyon macroparticules |
|
Arc Power Supplies |
DC batman kè / kontinyèl arc, 0-200 A reglabl |
Karakteristik suppression arc pou pwoteje sib ak substrats |
|
Pouvwa patipri substrate |
Enpulsyon DC patipri (0-1000 V reglabl) |
Amelyore enèji bonbadman ion ak adezyon kouch |
|
Sistèm ponpe |
Rotary vane backing pump + Roots blower + Turbo-molekilè / ponp difizyon |
Pyèj kriyojenik opsyonèl pou lwil oliv -gratuit gwo vakyòm |
|
Sistèm kontwòl |
PLC + PC endistriyèl (SCADA) |
Egzekisyon resèt otomatik, pase manyèl, ak anrejistreman done |
Karakteristik kle
Sous arc avanse chan mayetik:Katod enkòpore bobin pèmanan ak elektwomayetik optimize pou dirije trajèktwar plas arc, ogmante efikasite itilizasyon sib a plis pase 55% epi redwi emisyon ti gout.
Bouk fèmen-Kontwòl koule gaz:Mass Flow Controllers (MFCs) kontwole presyon pasyèl gaz reyaktif nan tan reyèl -, kenbe estekyometri egzak pou kouch konpoze konplèks tankou TiAlN ak AlCrN.
Mekanis wotasyon substrate planetè:Kondwi wotasyon milti-aks asire distribisyon inifòm epesè fim (tolerans nan ± 5%) atravè konpozan 3D konplèks ak zouti koupe.
Kapasite nan-Ion Gravure:Netwayaj ekoulman ekla entegre ak grave ion metal retire oksid natif natal anvan depoze, asire lyezon koòdone ki reziste grafouyen -.
Achitekti elektrik modilè:Blòk tèminal estanda ak etajè pouvwa modilè izole senplifye dyagnostik jaden yo epi minimize tan an mwayen pou reparasyon (MTTR).
Konfigirasyon sistèm vakyòm
Depozisyon fim mens-se depann sou entegrite vakyòm debaz ak dinamik manyen gaz, ki fèt atravè yon pil ponpe etap:
Etap degrosaj ak entèmedyè:Ponp mekanik-wotatif ki gen rapò ak kondwi dirèk ki asosye ak souflè rasin yo evakye chanm nan soti nan presyon atmosferik nan ranje tranzisyon an (10^-1 Pa).
Etap vakyòm segondè:Turbo-ponp molekilè (oswa ponp difizyon lwil oliv ki ekipe ak pyèj frèt nitwojèn likid) reyalize yon presyon baz ultim anba a 5.0 × 10^-4 Pa, elimine rezidyèl vapè dlo ak kontaminasyon oksijèn.
Sele ak Asanble Valv:Tiyo pòtay segondè-vakyòm, elastomè/metal-sele bride (ISO/CF), ak fuit elyòm-soude yo teste (< 1.0 × 10^-10 Pa·m3/s) prevent atmospheric outgassing during long coating cycles.
Materyèl evaporasyon ak konpatibilite substrate
Materyèl sib
Metal pi bon kalite:Ti, Cr, Al, Zr, Cu, Mo, Nerjaveèi
Alyaj:TiAl, CrAl, SiAl, WC-Co
Materyèl substrate
Zouti Steel:H13, M2, D2, gwo-sye vitès (HSS)
Karbid simante:WC-Ko foure ak moulen fen
Metal estriktirèl:Titàn alyaj, asye pur, kwiv, ak aliminyòm (egzije pwotokòl depozisyon tanperati ki ba-)
Aplikasyon
Koupe ak fòme zouti:Depozisyon TiN, TiAlN, ak AlCrN sou moulen fen, egzèsis, kouto hobbing, ak mouri Stamping pou ogmante dite sifas jiska 3000 HV ak pwolonje lavi zouti pa 3x-5x.
Konpozan otomobil:Ba-kouvwi friksyon (DLC oswa CrN) aplike nan bag piston, broch piki gaz, ak tappets pou diminye mete mekanik ak pèt pouvwa parazit.
Materyèl ak atik sanitè:Decorative, wear-resistant hard gold, rose gold, black (TiCN, ZrN), and stainless steel tones applied to architectural door hardware and bathroom fixtures with proven salt spray corrosion resistance (>240 èdtan).
Opsyon personnalisation
Jeyometri chanm:Konfigirasyon chajman vètikal (twou-monte oswa etaj-kanpe) oswa orizontal devan-konfigirasyon.
Entegrasyon depo ibrid:Konbine sous arc katodik ak gwo -Power Impulse Magnetron Sputtering (HIPIMS) oswa katod dezekilib magnetron sputtering (UBM) nan yon sèl chanm pou kouch fonksyonèl ibrid.
Entèfas automatisation:Custom SCADA lojisyèl entegrasyon ak faktori MES (Manifakti Egzekisyon System) pou swiv pakèt aleka ak otomatik chaje robo lanmen.
Adaptasyon sèvis piblik:Faktori -ajisteman tanperati/presyon dlo refwadisman espesifik ak konfòmite lokalize vòltaj griy elektrik (egzanp, 380V/480V, 50Hz/60Hz, 3-faz).
Kontwòl Kalite & Tès Faktori
Deteksyon koule vakyòm:Elyòm mas spectrometer fuite tès fèt sou tout kò chanm, kouti soude, ak manifoul valv.
Odit sekirite elektrik:Rezistans izolasyon, kontinwite tè, ak gwo -tès potansyèl (ipot) egzekite an konfòmite ak nòm elektrik CE/UL.
Fonksyonèl kouri sèk:Tès kontinyèl monte bisiklèt 72 èdtan nan kondui wotasyon mekanik, tiyo pneumatik, ak eleman chofaj san ignisyon sib.
Egzanp Verifikasyon Depo:Kouch esè yo fèt lè l sèvi avèk substrats kliyan -founi; echantiyon yo evalye atravè boul-tès kratè (adhesion) ak Calotest/XRR (mezi epesè fim).
Enstalasyon ak sipò teknik
Pre-Gid Enstalasyon:Desen detaye Fondasyon ak Dispozisyon Sèvis piblik yo bay ki kouvri spesifikasyon chaj etaj, pousantaj koule dlo refwadisman (m3/h), kondisyon pou kanal echapman, ak gwosè busbar elektrik.
Sou-Komisyonin sou sit:Enjenyè jaden yo voye pou aliyman mekanik, tcheke koule vakyòm, branche elektrik, akor inisyal resèt pwosesis, ak fòmasyon operatè.
Pake Dokimantasyon:Livrezon konplè gen ladan chema elektrik, rezime lojik sous PLC, manyèl konpozan vakyòm, pye bwa depanaj antretyen, ak orè ranplasman konsomabl.
Sipò pou dyagnostik adistans:Sekirize VPN-pèmèt entegrasyon routeur ki pèmèt enjenyè pwosesis konekte nan koòdone HMI pou fè dyagnostik paramèt tan reyèl-yo ak mizajou lojisyèl.
Envantè pyès rezèv:Stock devwe nan atik ranplasman kritik (sib katod, izolasyon, sele valv) konsève pou dispatch rapid pou minimize tan liy lan.
Kesyon yo poze souvan
K: Ki jan ou minimize makropartikil (ti gout) nannan evaporasyon arc katodik?
A: Sistèm yo sèvi ak chan mayetik volan pou deplase rapidman plas katòd arc, anpeche lokalize surchof ak gwo emisyon ti gout. Opsyonèl koube -kanal filtre ak katodik (FCAN) sous ka entegre pou aplikasyon ti gout-sansib.
K: Ki tan tipik pou fabrike yon sistèm kouch vakyòm koutim?
A: Konfigirasyon chanm estanda mande pou 12 a 16 semèn soti nan siy konsepsyon -nan preparasyon faktori. Sistèm ibrid milti-sous ki trè Customized yo mande pou 18 a 22 semèn.
K: Ki kondisyon sèvis piblik yo dwe prepare anvan livrezon?
A: Enstalasyon yo mande pou yon bouk fèmen -bouk dlo frèt (kapasite 15-30 tòn depann sou gwosè chanm), lè konprese (0.5-0.7 MPa), gwo-pite gaz pwosesis (N2, Ar, C2H2 nan 99.999% pite), ak bon jan kapasite disjoncteur prensipal elektrik.
K: Ki consommables antretyen woutin ki nesesè?
A: Consommables Prensipal yo enkli sib katod, plak pwoteksyon, plak pwotèj espas nwa, lwil ponp mekanik, ak likid ponp difizyon. Entèval antretyen echèl dirèkteman ak èdtan opere chak jou.
Baj popilè: milti-arc vakyòm depo ekipman, Lachin milti-arc vakyòm depo ekipman manifaktirè, founisè, faktori
