Sistèm plak iyon milti-ark sa a itilize evaporasyon ak arc katodik pou depoze kouch difisil, ki gen gwo -adezyon ak fim mens fonksyonèl. Lè yo frape yon gwo -kouran, ba- arc vòltaj sou sib katod solid, materyèl la vaporize ak iyonize imedyatman nan yon anviwonman gwo-vakyòm. Konbine ak gaz reyaktif (N2, O2, oswa C2H2), sistèm nan sentèz kouch konpoze esteyometrik dirèkteman sou substrats metalik oswa ki pa{11}} metalik. Enjenieri pou fabrikasyon endistriyèl kontinyèl, achitekti a asire pwopagasyon arc ki estab, kontwòl esteyometri egzak, ak pèfòmans fim pakèt ki ka repete.
Espesifikasyon teknik
|
Paramèt |
Espesifikasyon Range / Valè |
|
Chanm Dimansyon |
Dyamèt koutim soti nan Phi 800 mm rive nan Phi 2000 mm (Layout vètikal oswa orizontal) |
|
Presyon vakyòm ultim |
<= 5.0 x 10^-3 Pa (via Roots & Molecular/Diffusion pump combination) |
|
Ponpe-Tan Desann |
Presyon atmosferik a 6.0 x 10^-2 Pa pous<= 15 minutes (empty, clean, dry chamber) |
|
Katod Arc Sous |
4 a 16 sous arc rektangilè oswa sikilè filtre / san filtre |
|
Bias Power Supply |
Pouvwa Bias batman kè (0 a -1000 V reglabl, frekans 10 a 100 kHz) |
|
Wotasyon Substra |
Mekanis wotasyon planetè ak kondwi vitès varyab ak chofaj endepandan |
|
Sistèm chofaj |
Etalaj aparèy chofaj radyan asye pur; tanperati maksimòm 600 °C (+/- 5 °C inifòmite) |
|
Sistèm kontwòl |
PLC + Endistriyèl PC; ekzekisyon resèt otomatik ak override manyèl |
|
Chaj konekte |
80 kW a 250 kW (depann sou volim chanm ak konte sous) |
Karakteristik kle
Teknoloji Arc Filtered Cathode:Ekipe ak direksyon chan mayetik ak kanal filtraj macro-patikil (goutte) pou elimine defo sifas yo, ki bay fini ultra-lis pou konpozan presizyon.
Bouk fèmen-Kontwòl gaz reyaktif:Mass Flow Controllers (MFCs) mare nan presyon total ak fidbak emisyon optik kenbe presyon pasyèl ki estab pandan sentèz konpoze reyaktif.
Plizyè-Aks Planèt aparèy Kondwi:Aks wotasyon endepandan ak revolisyon asire bonbadman iyon inifòm ak distribisyon epesè kouch atravè jeyometri konplèks twa -dimansyon.
Plonbri vakyòm modilè:ISO-estanda elektwo-manifoul asye pur poli minimize degasaj ak senplifye entèval antretyen woutin.
Trasabilite done pakèt:Otomatik anrejistreman presyon chanm, vòltaj patipri substrate, kouran arc, ak pousantaj koule gaz pou odit konplè bon jan kalite.
Konfigirasyon sistèm vakyòm
Sou-sistèm vakyòm lan fèt pou yon sikilasyon rapid ak yon manipilasyon solid nan sous-pwodwi pwosesis yo:
Etap degrasaj:Ponp rotary vane oswa ponp sèk vis ki asosye ak souffleur Roots pou jenerasyon vakyòm graj -gras.
Etap vakyòm segondè:Ponp difizyon ak pyèj frèt nitwojèn likid oswa gwo -Turbo-Pop Molekilè (TMP), chwazi dapre kondisyon chanm pwòp ak sib tan sik.
Tiyo ak mezi:Tiyo pòtay chanm konpwesyon lè ak gwo -valv izolasyon fyab. Mezi vakyòm konplè -ki itilize Pirani ak mezi Iyonizasyon Katòd Cho ki entegre nan PLC sekirite interlock.
Materyèl evaporasyon ak konpatibilite substrate
Katod evaporasyon
Metal pi bon kalite:Ti, Cr, Al, Zr, Cu, TiAl alyaj, asye pur.
Alyaj / Konpoze:Objektif sinterize koutim formul pou dite espesyalize, koyefisyan friksyon, ak rezistans oksidasyon.
Materyèl substrate
Zouti Steel:Gwo -vitès asye (HSS), foure carbure tungstène, frèt / cho travay mouri asye.
Jeni metal:Titàn alyaj, estrikti asye pur, aliminyòm (itilize bon pre-tretman).
Seramik teknik:Chwazi seramik endistriyèl ki mande preparasyon koòdone kondiktif.
Aplikasyon ak ka itilize espesyalize
Koupe & Fòme Zouti
Kalite kouch:TiN, TiAlN, AlTiN, CrN.
Enpak pèfòmans:Siyifikativman ogmante dite sifas (jiska 3000+ HV), diminye koyefisyan friksyon, epi reziste oksidasyon tèmik. Pwouve pou pwolonje lavi fonksyone nan perçage, moulen fen, kouto recho, ak mouri Stamping anba kondisyon machining gwo -vitès.
Konpozan otomobil
Aplikasyon:Piston bag, tappets, pati piki gaz, ak pyès ki nan konpitè dekoratif oswa fonksyonèl taye eksteryè ki egzije anti-usure ak rezistans korozyon.
Enstriman Medikal
Aplikasyon:Biyokonpatib TiN ak TiCN kouch sou bisturi chirijikal, vis zo, ak enplantasyon dantè pou amelyore pasivasyon sifas ak rezistans mete.
Personnalisation
Sistèm yo fèt pou matche ak anprent manifakti espesifik ak paramèt pwosesis:
Dimansyon chanm:Dyamèt entèn koutim ak wotè adapte a dimansyon maksimòm pakèt ak pwa aparèy.
Konfigirasyon sous:Konbinezon ibrid sous arc ak katod sputtering magnetron planè pou achitekti multikouch ak nanokonpoze.
Nivo Otomatik:Semi-otomatik selil otonòm oswa liy pwodiksyon konplètman entegre konpatib ak sistèm chaj robotik.
Kontwòl Kalite
Tès Fuit Elyòm:Chak chanm vakyòm sibi tès sevè espektwomèt mas anvan yo lage faktori a (pousantaj koule<= 1.0 x 10^-9 Pa*m^3/s).
Sekirite elektrik:Kabinè kontwòl bati nan estanda konfòmite CE / UL ak sikui sekirite konplètman anklame.
Tès Akseptasyon faktori (FAT):Egzamen anvan -chajman an te fè pou verifye presyon ultim, inifòmite tanperati aparèy chofaj, ak estabilite ignisyon arc soutni sou yon sik kontinyèl 24 èdtan.
Enstalasyon ak sipò teknik
Gid Preparasyon Sit:Dokimantasyon konplè pou sèvis piblik ki kouvri to/presyon dlo refwadisman, lè konprese, vantilasyon echapman, ak gout pouvwa.
Sou-Komisyonin sou sit:Pwosesis ki gen eksperyans ak enjenyè mekanik voye pou aliyman estriktirèl, verifikasyon koule vakyòm, mare elektrik-nan, ak transmisyon resèt debaz.
Fòmasyon Operatè:Fòmasyon pratik-ki kouvri antretyen woutin, ranplasman sib katod, ak depanaj PLC.
Diagnostik Remote:Entegrasyon modil VPN an sekirite pou mizajou lojisyèl an tan reyèl-, analiz paramèt, ak dyagnostik defo-repons rapid.
FAQ
K: Ki avantaj prensipal ki genyen nan milti-plak iyon ak ark konpare ak sputtering magnetron konvansyonèl?
A: Katod arc evaporasyon bay yon to ionizasyon segondè nan materyèl la evapore (tipikman 30% a 80%), sa ki lakòz adezyon fim eksepsyonèl ak pousantaj depo segondè. Li se depreferans adapte pou epè, difisil seramik mete -kouvwi ki reziste.
K: Ki jan ou kontwole pwoblèm macro-patikil (goutte) nannan evaporasyon arc?
A: Nou itilize optimize volan chan mayetik pou deplase plas arc rapid la atravè sifas sib la, ansanm ak kanal volan yo si ou vle Filtered Cathode Arc (FCA) ki devye mayetikman vapè iyonize pandan y ap bloke macro-patikil yo.
K: Ki kondisyon enstalasyon yo genyen pou enstale ekipman sa a?
A: Requirements typically include a stable 3-phase power supply, a closed-loop chilled water system (~0.2 to 0.3 MPa, 15 to 20 deg C), compressed air (>= 0.6 MPa) pou tiyo pneumatik, ak vantilasyon pou tiyo echapman pwosesis. Pake desen sèvis piblik espesifik yo bay sou konfimasyon lòd.
K: Èske sistèm sa a ka kouri otomatik plizyè-kouch oswa kouch gradyan?
A: Wi. PLC ak lojisyèl jesyon resèt la pèmèt sekans otomatik koule gaz, vòltaj patipri, ak tansyon wotasyon milti-katod pou depoze achitekti konplèks milti-kouch oswa kouch tranzisyon gradyan.
Baj popilè: milti-arc ion mens fim ekipman, Lachin milti-arc ion mens fim ekipman manifaktirè, founisè, faktori
