Magnetron sputtering kouch machin

Magnetron sputtering machin kouch se yon plasma sputtering teknoloji kontwole pa jaden mayetik. Prensip k ap travay nan machin nan kouch mayetron sputtering se sèvi ak jaden an mayetik kontwole patikil yo chaje nan plasma a, se konsa ke li pwodui plasma dansite segondè sou sifas la nan sib la, konsa tankou reyalize yon pwosesis sputtering efikas. Magnetron sputtering machin nan kouch sitou gen ladan chanm vakyòm, materyèl sib, substra, sistèm jaden mayetik, sistèm ekipman pou gaz ak sistèm ekipman pou pouvwa. Nan pwosesis la sputtering, se chanm lan vakyòm premye ponpe nan yon eta vakyòm segondè, ak Lè sa a, se yon gaz inaktif (tankou Agon) sou fòm piki. Anba aksyon an nan yon jaden elektrik, gaz Agon se ionized nan iyon Agon ak elektwon. Agon ion bombard sifas la nan sib la anba akselerasyon an nan jaden elektrik, ki fè atòm yo sib oswa molekil sputtered soti. An menm tan an, elektwon yo mare tou pre sifas la nan sib la anba aksyon an nan jaden an mayetik, fòme yon plasma-wo dansite, ki ogmante pousantaj la sputtering. Atòm yo sib sputtered oswa molekil yo depoze sou substra a yo fòme yon fim. Magnetron sputtering kouch machin ka lajman itilize nan mikroelectronics, optoelectronics, nanotechnologie, nouvo materyèl ak lòt jaden, bay yon efikas ak anviwònman an metòd preparasyon fim zanmitay pou endistri modèn ak rechèch syantifik.

Magnetron sputtering kouch machin gen yon teknoloji debaz inik, ak avantaj sa yo:

1. To depozisyon vit. Machin nan kouch mayetron sputtering ka jwenn yon gwo koule ion akòz itilize nan gwo vitès electrodes magnetron, ki efektivman amelyore pousantaj la depozisyon ak pousantaj sputtering pandan pwosesis la kouch.

2, gwo pouvwa efikasite. Machin nan sputtering magnetron jeneralman chwazi vòltaj ki apwopriye a asire ke ekipman an se jis nan ranje ki pi wo efikas nan efikasite pouvwa.

3. Low enèji sputtering. Aplike vòltaj ki ba ka anpeche pi wo patikil chaje enèji soti nan ensidan sou substra a epi evite deformation nan substrate a pwodwi.

4. Materyèl sib konpoze. Modilè koòdone inivèsèl, dirèkteman konpatib ak diferan fòm objektif katod, sa ki pèmèt DC batman kè, si, RF mòd k ap travay; Fò konpatibilite;

Lajè ranje aplikasyon yo. Gen anpil eleman ki ka depoze pa Magnetron sputtering machin kouch, yo menm ki komen yo se: Cu, Au, Cr, Ni, Ta, fèblan, Tic, Ticn, Tialn, CRN ak lòt metal, ki pa metal ak seramik fim oksid ak fim konpoze;